| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 引言 | 第9-16页 |
| ·微谐振器概述 | 第9-12页 |
| ·纳米材料在微谐振器中的应用 | 第12-14页 |
| ·本论文研究目标及主要任务 | 第14-16页 |
| 第2章 纳米梁谐振器的结构设计及其加工技术 | 第16-23页 |
| ·结构设计及制作工艺流程 | 第16-18页 |
| ·纳米梁的组装 | 第18-20页 |
| ·聚焦离子束加工技术 | 第20-21页 |
| ·封装 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 纳米梁谐振器的驱动与检测方法 | 第23-37页 |
| ·静电驱动及其检测方法 | 第23-28页 |
| ·静电驱动及其检测的基本原理 | 第23-27页 |
| ·静电驱动模式下的相关电路设计 | 第27-28页 |
| ·压电驱动及其检测方法 | 第28-33页 |
| ·ZnO 纳米线的压电和逆压电特性 | 第28-29页 |
| ·压电驱动及其检测的基本原理 | 第29-33页 |
| ·压电驱动模式下的相关电路设计 | 第33页 |
| ·纳米梁谐振器的测试系统 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 纳米梁谐振器的 Q 值 | 第37-55页 |
| ·Q 值的主要影响因素及其提高方法 | 第37-42页 |
| ·温度（temperature） | 第38-39页 |
| ·振动梁结构（geometry） | 第39-40页 |
| ·空气阻尼（air damping） | 第40页 |
| ·热弹性阻尼（thermoelastic damping） | 第40-41页 |
| ·接触损耗（support loss） | 第41页 |
| ·表面损耗（surface loss） | 第41-42页 |
| ·小结 | 第42页 |
| ·振动梁的接触损耗分析 | 第42-54页 |
| ·接触结构的改良 | 第43页 |
| ·双端固支梁的接触损耗分析理论分析 | 第43-47页 |
| ·双端固支梁接触损耗的仿真与讨论 | 第47-48页 |
| ·悬臂梁的接触损耗理论分析 | 第48-51页 |
| ·悬臂梁接触损耗的实验与讨论 | 第51-53页 |
| ·小结 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 纳米梁谐振器的检测 | 第55-83页 |
| ·纳米梁的 I-V 特性测试 | 第55-56页 |
| ·纳米梁谐振器的 FET 效应测试 | 第56-57页 |
| ·寄生电容在阻抗测试和参数辨识中的影响及其解决方案 | 第57-66页 |
| ·等效电学模型 | 第58-59页 |
| ·阻抗特性 | 第59-61页 |
| ·参数辨识方法 | 第61页 |
| ·仿真与分析 | 第61页 |
| ·实验与分析 | 第61-64页 |
| ·基于 I-V 辅助的辨识方法 | 第64-66页 |
| ·小结 | 第66页 |
| ·频率响应测量的迟滞效应及其补偿方法 | 第66-74页 |
| ·频率响应测量分析 | 第68-70页 |
| ·补偿方法 | 第70页 |
| ·仿真与分析 | 第70-73页 |
| ·实验与分析 | 第73-74页 |
| ·小结 | 第74页 |
| ·ZnO 纳米梁谐振器在静电驱动模式下的谐振特性测试 | 第74-79页 |
| ·测试方法 | 第74页 |
| ·结果与分析 | 第74-78页 |
| ·小结 | 第78-79页 |
| ·ZnO 纳米梁谐振器在压电驱动模式下的谐振特性测试 | 第79-82页 |
| ·测试方法 | 第79页 |
| ·结果与分析 | 第79-82页 |
| ·小结 | 第82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第6章 总结 | 第83-85页 |
| ·研究内容 | 第83-84页 |
| ·下一步工作建议 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第90页 |
