微型F-P腔阵列光谱探测器的集成化技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-14页 |
| ·基于F-P 腔结构的芯片式光谱仪的研究现状 | 第8-11页 |
| ·光电探测器读出电路的研究现状 | 第11-14页 |
| ·本文研究的意义和研究内容 | 第14-16页 |
| 2 微型F-P 腔阵列光谱探测器的结构和设计 | 第16-44页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·微型F-P 腔阵列光谱探测器的结构和工作原理 | 第16-26页 |
| ·微型F-P 腔阵列光谱探测器的结构 | 第16-17页 |
| ·微型F-P 腔工作原理 | 第17-26页 |
| ·光电探测器工作原理及等效电路 | 第26-33页 |
| ·与CMOS 兼容的光电二极管 | 第26-29页 |
| ·光电二极管工作方式 | 第29-32页 |
| ·光电二极管等效电路 | 第32-33页 |
| ·读出电路的设计思路及流程 | 第33-35页 |
| ·读出电路的设计及仿真 | 第35-41页 |
| ·采样电路 | 第35-39页 |
| ·移位寄存器 | 第39-41页 |
| ·探测器和读出电路系统级模拟仿真 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 3 工艺流程、版图设计及验证 | 第44-60页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·工艺流程 | 第44-47页 |
| ·电路版图研究 | 第47-50页 |
| ·版图层次 | 第47页 |
| ·版图设计规则 | 第47-49页 |
| ·版图设计流程 | 第49-50页 |
| ·读出电路的版图设计及验证 | 第50-57页 |
| ·采样电路一个单元的版图设计及验证 | 第51-53页 |
| ·移位寄存器版图设计和验证 | 第53-54页 |
| ·读出电路一个单元版图和验证结果 | 第54-56页 |
| ·整个读出电路版图和验证结果 | 第56-57页 |
| ·微型F-P 腔阵列光谱探测器整体版图 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 4 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·总结 | 第60页 |
| ·后续研究工作的展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录 | 第66-68页 |
