时栅传感器环节误差分析及检验标准的建立
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·前言 | 第9页 |
| ·位移传感器国内外研究现状和发展趋势 | 第9-10页 |
| ·本课题来源、背景和意义 | 第10-12页 |
| ·本文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 时栅传感器简介 | 第13-25页 |
| ·时空坐标转换理论 | 第13-16页 |
| ·传统栅式传感器原理简介 | 第13页 |
| ·相对运动双坐标系原理 | 第13-16页 |
| ·时栅位移传感器 | 第16-23页 |
| ·时栅位移传感器原理 | 第16页 |
| ·单齿式时栅 | 第16-18页 |
| ·场式时栅 | 第18-23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 第三章 时栅传感器环节误差分析 | 第25-53页 |
| ·引言 | 第25-26页 |
| ·加工误差 | 第26-35页 |
| ·定子误差 | 第26-30页 |
| ·开槽误差 | 第27-28页 |
| ·节距误差 | 第28-29页 |
| ·椭圆误差 | 第29-30页 |
| ·测头误差 | 第30-34页 |
| ·测头的加工分度误差 | 第30-33页 |
| ·测头加工椭圆误差 | 第33-34页 |
| ·对加工误差的合成 | 第34-35页 |
| ·安装误差 δ_ 2 | 第35-40页 |
| ·测头与回转中心的安装偏心引起的测角误差 | 第35页 |
| ·定子与测头的安装不同心引起的误差 | 第35-36页 |
| ·轴系误差 | 第36页 |
| ·测头与回转轴不垂直引起的测角误差 | 第36-40页 |
| ·时栅安装误差的合成 | 第40页 |
| ·电气误差 | 第40-45页 |
| ·零电平变化引起的误差 | 第40页 |
| ·电源误差(频率，相位，幅值) | 第40-43页 |
| ·电源电流幅值变化引起的测角误差 | 第41-42页 |
| ·电源频率变化引起的测角误差 | 第42页 |
| ·电源相位不对称引起的测角误差 | 第42-43页 |
| ·量化误差 | 第43-44页 |
| ·分辨力误差 | 第44-45页 |
| ·谐波修正误差 | 第45页 |
| ·残余误差 | 第45页 |
| ·电气误差的合成 | 第45页 |
| ·时栅全误差合成 | 第45-46页 |
| ·误差补偿技术 | 第46-49页 |
| ·多测头误差分离技术 | 第47-48页 |
| ·时栅误差特点 | 第48-49页 |
| ·傅氏级数谐波修正 | 第49页 |
| ·定子与测头布线新方法和绕线新工艺 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 实验研究 | 第53-59页 |
| ·时栅电源变化对时栅精度影响量的实验研究 | 第53-56页 |
| ·时栅电源幅值变动实验 | 第54-56页 |
| ·时栅电源相位变化实验 | 第56页 |
| ·误差分离实验及误差验证实验 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 时栅传感器检验标准的建立 | 第59-73页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·时栅零部件(定子)的检验方法 | 第59-60页 |
| ·时栅各性能指标的检验方法 | 第60-71页 |
| ·技术指标检验方法 | 第60-61页 |
| ·精度指标的检验方法 | 第61-71页 |
| ·检验装置的确定 | 第61-64页 |
| ·时栅分辨力检验方法 | 第64-65页 |
| ·时栅分度误差检验方法 | 第65-68页 |
| ·时栅重复性检验方法 | 第68-71页 |
| ·检验标准的建立 | 第71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第六章 时栅传感器分度误差测量不确定度评定 | 第73-77页 |
| ·概述 | 第73页 |
| ·计算分量标准不确定度 | 第73-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 第七章 总结 | 第77-79页 |
| ·总结 | 第77页 |
| ·展望 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第83页 |
