弹性约束游离磨料超光滑表面加工技术的研究
| 提要 | 第1-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-29页 |
| ·超光滑表面加工的意义 | 第9-10页 |
| ·超光滑表面加工技术现状及发展趋势 | 第10-11页 |
| ·超光滑表面加工技术的发展历程 | 第10页 |
| ·我国超光滑表面加工技术现状 | 第10-11页 |
| ·超光滑表面加工存在的主要问题 | 第11页 |
| ·超光滑表面加工技术的发展趋势 | 第11页 |
| ·超光滑表面加工技术的应用 | 第11-13页 |
| ·光学领域的应用 | 第11-13页 |
| ·大规模集成电路基板制造中的应用 | 第13页 |
| ·超光滑表面加工方法 | 第13-27页 |
| ·游离磨料加工方法 | 第14-22页 |
| ·无磨料加工方法 | 第22页 |
| ·能量束抛光 | 第22-25页 |
| ·超精密磨削方法 | 第25-26页 |
| ·其它超光滑表面加工方法 | 第26-27页 |
| ·课题的提出及本文的主要研究内容 | 第27-29页 |
| ·课题的提出 | 第27-28页 |
| ·本文的立项依据和主要研究内容 | 第28-29页 |
| 第二章 工具弹性约束下磨粒作用模型的理论研究 | 第29-47页 |
| ·概述 | 第29-31页 |
| ·弹性约束游离磨料研抛加工技术的提出 | 第29页 |
| ·弹性约束游离磨料研抛加工方法及特点 | 第29-31页 |
| ·工具弹性约束游离磨料加工的接触区应力分布模型 | 第31-33页 |
| ·圆柱形研抛工具接触应力分布模型 | 第31-32页 |
| ·球形研抛工具接触应力分布模型 | 第32-33页 |
| ·工具弹性约束下加工区域单个磨粒作用模型 | 第33-39页 |
| ·单个类球形磨粒作用力和作用深度模型 | 第34-36页 |
| ·单个棱锥体形磨粒的作用力和作用深度模型 | 第36-39页 |
| ·考虑表面粗糙度的磨粒作用模型 | 第39-41页 |
| ·单个球形磨粒的作用力和作用深度模型 | 第39-40页 |
| ·单个棱锥体形磨粒作用力和作用深度模型 | 第40-41页 |
| ·微小力工具弹性约束下磨料作用模型 | 第41-43页 |
| ·加工区域的确定和磨粒力学模型 | 第41-42页 |
| ·微小力工具弹性约束游离磨料的磨粒作用模型 | 第42-43页 |
| ·模型的试验验证 | 第43-45页 |
| ·磨粒耕犁沟痕最大深度与表面粗糙度的关系 | 第43-44页 |
| ·磨粒耕犁深度模型的验证 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第三章 弹性约束游离磨料加工材料去除机理研究 | 第47-66页 |
| ·加工过程中磨粒的运动特点 | 第47-51页 |
| ·工具弹性弹性约束下的磨粒运动分析 | 第47-48页 |
| ·液流弹性约束下磨粒的运动分析 | 第48-51页 |
| ·弹性约束游离磨料加工的表面创成 | 第51-54页 |
| ·工具弹性约束游离磨料加工的表面创成 | 第51-53页 |
| ·液流弹性约束游离磨料加工的表面创成 | 第53-54页 |
| ·工具弹性约束游离磨料加工材料的去除机理 | 第54-56页 |
| ·微切削去除材料过程 | 第54-55页 |
| ·磨粒滚压去除材料过程 | 第55-56页 |
| ·液流弹性约束纳米游离磨料加工的材料去除机理分析 | 第56-64页 |
| ·纳米磨粒能量冲击去除材料的理论分析 | 第56-64页 |
| ·磨粒剪切去除材料机理分析 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第四章 弹性约束游离磨料加工设备和加工工艺 | 第66-86页 |
| ·弹性约束游离磨料加工系统 | 第66-69页 |
| ·加工系统的组成 | 第66-67页 |
| ·精密高速电机的选择 | 第67页 |
| ·研抛工具精度控制及材料的选择 | 第67-69页 |
| ·接触载荷和间隙的在线自动控制 | 第69-72页 |
| ·接触载荷的测量和在线调整 | 第69-71页 |
| ·研抛工具和工件间隙的在线控制 | 第71-72页 |
| ·接触载荷和间隙的控制原理 | 第72页 |
| ·弹性约束游离磨料的加工工艺 | 第72-81页 |
| ·研抛液的选择和制备 | 第72-79页 |
| ·工件的选择与制备 | 第79-80页 |
| ·弹性约束游离加工磨料加工工艺过程 | 第80-81页 |
| ·表面粗糙度的测量 | 第81-85页 |
| ·超光滑表面检测仪器的选择 | 第81-84页 |
| ·不同仪器对测量结果的影响 | 第84-85页 |
| ·测量中的取样方法的选择 | 第85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第五章 弹性约束游离磨料研抛加工规律的研究 | 第86-101页 |
| ·工具弹性约束游离磨料加工规律的试验研究 | 第86-91页 |
| ·工具材料和磨料粒度对表面粗糙度影响试验 | 第86-88页 |
| ·接触区载荷对研抛加工效果的影响试验 | 第88页 |
| ·研抛工具转速影响试验 | 第88-90页 |
| ·获得稳定表面粗糙度试验 | 第90-91页 |
| ·液流约束纳米游离磨料研抛加工规律的试验研究 | 第91-97页 |
| ·液流约束纳米游离磨料的工艺参数优化试验 | 第91-94页 |
| ·加工不同材料的对比试验 | 第94-96页 |
| ·不同加工区域表面粗糙度的变化规律试验 | 第96-97页 |
| ·两步组合研抛加工试验 | 第97-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 第六章 结论 | 第101-103页 |
| 参考文献 | 第103-110页 |
| 致谢 | 第110-111页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第111-112页 |
| 攻读博士学位期间参与的课题 | 第112-113页 |
| 摘要 | 第113-115页 |
| Abstract | 第115-117页 |
