微细电解线切割加工技术的基础研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-34页 |
| ·微细加工技术的研究与发展 | 第18-21页 |
| ·硅微细加工技术 | 第19页 |
| ·微细束流加工技术 | 第19-20页 |
| ·LIGA 技术 | 第20-21页 |
| ·超精密机械加工技术 | 第21页 |
| ·微细电解加工技术的研究与发展 | 第21-29页 |
| ·电解加工技术的研究与发展 | 第22-24页 |
| ·掩膜微细电解加工技术 | 第24-25页 |
| ·电液流微细电解加工技术 | 第25-26页 |
| ·超短脉冲微细电解加工技术 | 第26-28页 |
| ·微细电解加工中的电极制备技术 | 第28-29页 |
| ·电火花线切割加工技术的研究与发展 | 第29-31页 |
| ·电火花线切割加工技术概况 | 第29页 |
| ·微细电火花线切割加工技术 | 第29-31页 |
| ·研究意义与课题来源 | 第31-32页 |
| ·本文主要研究内容 | 第32-34页 |
| 第二章 微细电解线切割加工的基本理论与模型分析 | 第34-52页 |
| ·微细电解加工原理 | 第34-35页 |
| ·微细电解线切割加工的特点 | 第35-36页 |
| ·微细电解线切割加工的理论模型 | 第36-44页 |
| ·电极反应过程 | 第36-38页 |
| ·电化学极化及其等效电路 | 第38-41页 |
| ·微细电解线切割加工的模型分析 | 第41-44页 |
| ·微细电解线切割间隙流场的特性分析与改善 | 第44-50页 |
| ·微尺度间隙流场的理论基础 | 第45-47页 |
| ·微尺度间隙流场的特性分析 | 第47-49页 |
| ·微尺度间隙流场的改善 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第三章 微细电解线切割加工系统 | 第52-78页 |
| ·微细电解线切割加工系统的特点 | 第52-53页 |
| ·加工系统的总体方案与布局设计 | 第53-56页 |
| ·总体方案 | 第53-55页 |
| ·加工系统的布局设计 | 第55-56页 |
| ·运动系统 | 第56-58页 |
| ·线电极系统 | 第58-60页 |
| ·电解液系统 | 第60页 |
| ·超短脉宽电源 | 第60-63页 |
| ·线电极对刀 | 第63-65页 |
| ·微细电解线切割加工控制系统 | 第65-76页 |
| ·控制系统的总体设计 | 第65-66页 |
| ·轨迹控制 | 第66-69页 |
| ·加工间隙状态检测与辨识 | 第69-72页 |
| ·伺服进给控制策略 | 第72-74页 |
| ·控制系统软件设计 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-78页 |
| 第四章 微细电解线切割加工线电极的在线制作 | 第78-92页 |
| ·线电极直径对加工精度影响的理论分析 | 第78-79页 |
| ·线电极在线制作方法 | 第79-88页 |
| ·原理与装置 | 第80-82页 |
| ·腐蚀均匀性控制 | 第82-86页 |
| ·尺寸控制 | 第86-88页 |
| ·线电极在线制作实验及分析 | 第88-91页 |
| ·线电极在线制作实例 | 第88-90页 |
| ·电压对线电极制作的影响 | 第90页 |
| ·电解液浓度对线电极制作的影响 | 第90-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 第五章 微细电解线切割加工工艺的实验研究 | 第92-108页 |
| ·影响加工工艺指标的因素分析 | 第92-95页 |
| ·影响加工精度的因素分析 | 第92-93页 |
| ·影响加工稳定性的因素分析 | 第93-94页 |
| ·影响加工表面质量的因素分析 | 第94-95页 |
| ·进给参数对加工的影响 | 第95-98页 |
| ·进给速度对加工的影响 | 第95-97页 |
| ·进给频率对加工的影响 | 第97-98页 |
| ·电参数对加工的影响 | 第98-103页 |
| ·电压对加工的影响 | 第99-101页 |
| ·脉冲宽度对加工的影响 | 第101-102页 |
| ·占空比对加工的影响 | 第102-103页 |
| ·电解液浓度对加工的影响 | 第103-104页 |
| ·线电极直径对加工的影响 | 第104-105页 |
| ·线电极相对微幅振动对加工稳定性的改善 | 第105-106页 |
| ·本章小结 | 第106-108页 |
| 第六章 微细结构电解线切割加工的实验研究 | 第108-120页 |
| ·两种切割加工模式 | 第108-112页 |
| ·微细缝槽切割模式 | 第109-110页 |
| ·微细结构加工模式 | 第110-112页 |
| ·微细缝槽的切割实验 | 第112-115页 |
| ·直线型微缝切割实验 | 第112-113页 |
| ·曲线型微缝切割实验 | 第113-115页 |
| ·微细群缝切割实验 | 第115页 |
| ·微细结构的加工实验 | 第115-119页 |
| ·微细桨叶的加工实验 | 第115-117页 |
| ·微细尖角结构加工实验 | 第117-119页 |
| ·本章小结 | 第119-120页 |
| 第七章 总结与展望 | 第120-122页 |
| ·论文研究工作总结 | 第120-121页 |
| ·对未来工作的展望 | 第121-122页 |
| 参考文献 | 第122-130页 |
| 致谢 | 第130-131页 |
| 在学期间发表的学术论文及研究成果 | 第131页 |
