生物微喷阵列芯片的设计与优化
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·微喷阵列系统的概念与特点 | 第9-10页 |
| ·微喷阵列系统的概念 | 第9页 |
| ·微喷阵列系统的特点 | 第9-10页 |
| ·微喷阵列系统的发展现状 | 第10-17页 |
| ·微喷阵列芯片的分类 | 第10页 |
| ·微喷阵列系统的研究进展 | 第10-17页 |
| ·微喷阵列系统的应用与展望 | 第17-18页 |
| ·本工作的研究思路 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 硅基微喷阵列芯片的实现与优化 | 第20-30页 |
| ·基于三层结构和间隙环结构的微喷阵列芯片的制作 | 第20-22页 |
| ·硅材料和硅工艺简介 | 第20-21页 |
| ·基于三层结构和间隙环结构的硅微喷阵列芯片 | 第21-22页 |
| ·基于三层结构和间隙环结构的微喷阵列芯片的优化 | 第22-28页 |
| ·PDMS聚合物简介 | 第23页 |
| ·PDMS-硅微喷阵列芯片的制作流程 | 第23-25页 |
| ·PDMS薄膜测试 | 第25-27页 |
| ·PDMS-硅微喷阵列芯片的喷样测试 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 基于PZT驱动的微喷阵列芯片的设计 | 第30-45页 |
| ·CFDRC软件包简介 | 第30-33页 |
| ·单PZT驱动的微喷阵列芯片的设计 | 第33-34页 |
| ·单PZT驱动的微喷阵列芯片的结构设计 | 第33-34页 |
| ·单PZT驱动的微喷阵列芯片的工作原理 | 第34页 |
| ·单PZT驱动的微喷阵列芯片的数值模拟 | 第34-39页 |
| ·控制方程 | 第34-35页 |
| ·边界条件设置 | 第35-36页 |
| ·模拟结果讨论 | 第36-39页 |
| ·双PZT驱动的微喷阵列芯片的数值模拟 | 第39-44页 |
| ·双PZT驱动微喷阵列芯片的结构设计 | 第39-40页 |
| ·双PZT驱动微喷阵列芯片的优化效果 | 第40-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 溶胶凝胶法制备PZT压电膜 | 第45-58页 |
| ·PZT压电驱动装置的研究现状与进展 | 第45-47页 |
| ·PZT膜的常规制备方法 | 第47-49页 |
| ·溶胶凝胶法制备ZrO_2 | 第49-53页 |
| ·溶胶凝胶法ZrO_2制作流程 | 第50-51页 |
| ·影响因素 | 第51-53页 |
| ·溶胶凝胶法制备PZT | 第53-57页 |
| ·溶胶凝胶法PZT制作流程 | 第53-54页 |
| ·性能测试 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 发表文章 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 作者简历 | 第67-68页 |
