化学气相沉积碳氮膜及金刚石膜的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 文献综述 | 第9-32页 |
| ·超硬材料的研究 | 第9-11页 |
| ·氮化碳薄膜 | 第11-22页 |
| ·氮化碳薄膜的制备方法 | 第14-18页 |
| ·氮化碳薄膜的表征 | 第18-19页 |
| ·化学气相沉积碳氮膜的研究进展 | 第19-22页 |
| ·金刚石薄膜 | 第22-30页 |
| ·金刚石薄膜的制备方法 | 第23-27页 |
| ·金刚石薄膜的表征 | 第27页 |
| ·碳纳米管 | 第27-30页 |
| ·碳纳米管形核制备金刚石膜的分析 | 第30页 |
| ·本课题的目的和意义 | 第30-32页 |
| 第二章 直流等离子体化学气相沉积制备氮化碳薄膜 | 第32-55页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·实验原理 | 第32-35页 |
| ·实验装置、工艺参数及过程 | 第35-38页 |
| ·实验装置、药品及工艺参数 | 第35-37页 |
| ·电极和基体的预处理 | 第37-38页 |
| ·操作过程 | 第38页 |
| ·氮化碳薄膜的特性分析 | 第38-45页 |
| ·薄膜的形貌分析 | 第38-39页 |
| ·成分分析 | 第39-41页 |
| ·价键分析 | 第41-43页 |
| ·讨论 | 第43-45页 |
| ·工艺参数对薄膜影响 | 第45-50页 |
| ·气体流量比对沉积薄膜的影响 | 第45-46页 |
| ·放电功率对沉积薄膜的影响 | 第46-48页 |
| ·气体压强对薄膜的影响 | 第48-50页 |
| ·氮化碳薄膜耐腐蚀性能测试 | 第50-54页 |
| ·材料和方法 | 第51-52页 |
| ·实验结果 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第三章 碳纳米管形核制备金刚石膜的研究 | 第55-69页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·实验装置、工艺参数方法及过程 | 第55-59页 |
| ·实验装置、药品及工艺参数 | 第55-57页 |
| ·灯丝预处理 | 第57-58页 |
| ·基体预处理 | 第58-59页 |
| ·操作过程 | 第59页 |
| ·实验结果与讨论 | 第59-64页 |
| ·碳纳米管对金刚石膜的影响 | 第59-62页 |
| ·碳源浓度对金刚石薄膜制备的影响 | 第62-63页 |
| ·基体温度对金刚石膜制备的影响 | 第63-64页 |
| ·CNT 形核制备金刚石膜机理的探讨 | 第64-65页 |
| ·纳米金刚石管的研究 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 论文总结 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第77-78页 |
