| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-27页 |
| ·前言 | 第8页 |
| ·气敏传感器的发展 | 第8-20页 |
| ·气敏传感器的分类 | 第8-15页 |
| ·气敏元件的制备方法和特性 | 第15-18页 |
| ·气体传感器的工作机理 | 第18-20页 |
| ·MFeO_3钙钛矿型半导体气敏材料的研究现状 | 第20-25页 |
| ·ABO_3钙钛矿型材料的结构 | 第20页 |
| ·ABO_3钙钛矿型氧化物的制备方法 | 第20-22页 |
| ·MFeO_3钙钛矿型半导体材料的气敏性质 | 第22-24页 |
| ·MFeO_3钙钛矿型半导体材料的气敏机理 | 第24-25页 |
| ·课题的提出 | 第25-27页 |
| ·课题的选取及其研究意义 | 第25-26页 |
| ·课题拟采用的实验设计及主要工作 | 第26-27页 |
| 第二章 实验过程 | 第27-31页 |
| ·实验原料及设备 | 第27-28页 |
| ·无机盐溶胶-凝胶法制备MFeO_3半导体薄膜的工艺流程 | 第28页 |
| ·旁热式MFeO_3气敏传感器的制备工艺 | 第28-29页 |
| ·材料气敏性能的测试方法 | 第29-30页 |
| ·材料表征方法 | 第30-31页 |
| 第三章 MFeO_3薄膜的制备和气敏性能分析 | 第31-58页 |
| ·无机盐溶胶-凝胶法前驱体的分析 | 第31-36页 |
| ·无机盐溶胶-凝胶法基本原理 | 第31页 |
| ·MFeO_3前驱体分析 | 第31-36页 |
| ·前驱体溶胶稳定性的分析 | 第31-33页 |
| ·前驱体干凝胶粉末的红外光谱分析 | 第33-34页 |
| ·前驱体干凝胶粉末热分析 | 第34-36页 |
| ·SmFeO_3薄膜材料体系的表征 | 第36-40页 |
| ·SmFeO_3薄膜相的分析 | 第36-37页 |
| ·SmFeO_3薄膜体系微观形貌的分析 | 第37-40页 |
| ·SmFeO_3薄膜的气敏性能研究 | 第40-50页 |
| ·SmFeO_3薄膜的阻温特性 | 第40-44页 |
| ·SmFeO_3薄膜的气体灵敏度和选择性研究 | 第44-50页 |
| ·SmFeO_3薄膜对丙酮气体响应性能 | 第44-45页 |
| ·掺杂SmFeO_3薄膜气敏性能研究 | 第45-47页 |
| ·膜厚对SmFeO_3薄膜气敏性能的影响 | 第47-50页 |
| ·SmFeO_3薄膜对不同气体的灵敏度研究 | 第50页 |
| ·LaFeO_3薄膜的气敏性能研究 | 第50-57页 |
| ·LaFeO_3薄膜的表面分析 | 第50-51页 |
| ·LaFeO_3薄膜的阻温特性 | 第51-54页 |
| ·LaFeO_3薄膜的气体灵敏度和选择性研究 | 第54-57页 |
| ·LaFeO_3薄膜对丙酮气体响应性能 | 第54-55页 |
| ·掺杂对LaFeO_3薄膜气敏性能的影响 | 第55-56页 |
| ·LaFeO_3薄膜对不同气体的灵敏度研究 | 第56-57页 |
| ·SmFeO_3薄膜与LaFeO_3薄膜气敏性能比较 | 第57-58页 |
| 第四章 旁热式烧结型MFeO_3传感器的制备和气敏性能研究 | 第58-69页 |
| ·气敏元件的制作 | 第58-59页 |
| ·材料的物相分析 | 第59-60页 |
| ·材料的形貌分析 | 第60-61页 |
| ·旁热式烧结型MFeO_3传感器的气敏性能测试 | 第61-67页 |
| ·MFeO_3气敏元件电阻特性的测试 | 第61-62页 |
| ·气敏元件对超低浓度丙酮气体的响应特性 | 第62-63页 |
| ·掺杂对MFeO_3气敏元件灵敏度的影响 | 第63-64页 |
| ·玻璃料对气敏元件灵敏度的影响 | 第64-65页 |
| ·贵金属Pt修饰对气敏元件灵敏度的影响 | 第65-66页 |
| ·不同工作电压对气敏元件灵敏度的影响 | 第66页 |
| ·气敏元件的稳定性检测 | 第66-67页 |
| ·气敏元件的选择性研究 | 第67-68页 |
| ·旁热式元件与薄膜型材料性能对比 | 第68-69页 |
| 第五章 MFeO_3气敏材料的气敏机理研究 | 第69-74页 |
| ·MFeO_3材料的结构分析 | 第69-70页 |
| ·气敏机理的讨论 | 第70-72页 |
| ·材料对还原性气体敏感机理分析 | 第71页 |
| ·材料对氧化性气体敏感机理分析 | 第71页 |
| ·材料对水蒸气敏感机理分析 | 第71-72页 |
| ·工作温度以及掺杂对气敏性的影响 | 第72-74页 |
| 第六章 结论 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
