| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·水性紫外光(UV)固化技术 | 第8-9页 |
| ·水性紫外光(UV)固化简介 | 第8-9页 |
| ·水性紫外光(UV)体系的干燥及光固化过程 | 第9页 |
| ·水性紫外光(UV)固化体系组成 | 第9-13页 |
| ·光敏水性低聚物 | 第9-11页 |
| ·环氧丙烯酸酯 | 第10页 |
| ·聚氨酯丙烯酸酯 | 第10页 |
| ·聚酯丙烯酸酯 | 第10-11页 |
| ·聚丙烯酸酯 | 第11页 |
| ·不饱和聚酯(WR-UPE) | 第11页 |
| ·超支化类聚合物 | 第11页 |
| ·水性光引发剂 | 第11-12页 |
| ·光活性单体 | 第12-13页 |
| ·助剂 | 第13页 |
| ·电沉积光致抗蚀剂研究现状 | 第13-14页 |
| ·阳极电沉积体系 | 第13-14页 |
| ·电沉积光致抗蚀剂 | 第14页 |
| ·本课题的研究目的和内容 | 第14-16页 |
| 第二章 光敏水性聚氨酯的合成及应用 | 第16-32页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·实验部分 | 第16-20页 |
| ·实验原料 | 第16-17页 |
| ·实验仪器及设备 | 第17页 |
| ·光敏水性聚氨酯的合成 | 第17-18页 |
| ·光敏聚氨酯胶体溶液的制备 | 第18页 |
| ·紫外光固化阳极电沉积涂料的制备 | 第18-19页 |
| ·分析测试方法 | 第19-20页 |
| ·异氰酸根(-NCO)值测定 | 第19页 |
| ·聚合物的结构测定 | 第19-20页 |
| ·聚合物热性能分析 | 第20页 |
| ·阳极电沉积乳液性能测试 | 第20页 |
| ·固化膜性能的测定 | 第20页 |
| ·结果与讨论 | 第20-30页 |
| ·光敏水性聚氨酯反应过程及结构表征 | 第20-23页 |
| ·合成过程中异氰酸根含量的检测 | 第20-21页 |
| ·红外表征 | 第21-22页 |
| ·核磁表征 | 第22-23页 |
| ·光敏水性聚氨酯分子量及分布的研究 | 第23页 |
| ·光敏水性聚氨酯热性能的研究 | 第23-25页 |
| ·光敏水性聚氨酯DSC 分析 | 第23-24页 |
| ·光敏水性聚氨酯热重分析 | 第24-25页 |
| ·光敏水性聚氨酯乳液表征 | 第25-28页 |
| ·光敏水性聚氨酯乳液基本性能 | 第25-26页 |
| ·不同羧基当量下胶体粒子的粒径分布情况 | 第26-27页 |
| ·不同中和度下胶体粒子的粒径分布情况 | 第27页 |
| ·不同PETA 添加量下胶体粒子的粒径分布情况 | 第27-28页 |
| ·光敏水性聚氨酯阳极电沉积成膜过程的研究 | 第28-29页 |
| ·不同电泳电压对于电沉积膜膜层厚度的影响 | 第28页 |
| ·电压对电沉积过程中电流密度变化的影响 | 第28-29页 |
| ·光敏聚氨酯作为主体树脂在光致抗蚀剂中的应用 | 第29页 |
| ·紫外光固化聚氨酯阳极电沉积固化膜的性能表征 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 光敏丙烯酸共聚物G-PESA 的合成及应用 | 第32-50页 |
| ·引言 | 第32-33页 |
| ·实验部分 | 第33-36页 |
| ·实验原料 | 第33页 |
| ·实验仪器及设备 | 第33-34页 |
| ·光敏丙烯酸共聚物G-PESA 的合成 | 第34页 |
| ·阳极电泳光致抗蚀剂的制备 | 第34-35页 |
| ·分析测试方法 | 第35-36页 |
| ·反应过程、基本结构及分子量测试 | 第35-36页 |
| ·PESA 及G-PESA 的热性能测试 | 第36页 |
| ·阳极电沉积乳液性能测试 | 第36页 |
| ·阳极电沉积光致抗蚀剂性能测试 | 第36页 |
| ·结果与讨论 | 第36-48页 |
| ·PESA 合成过程中单体转化率的研究 | 第36-37页 |
| ·反应温度对PESA 分子量及分布的影响 | 第37-38页 |
| ·PESA 及G-PESA 红外光谱分析 | 第38页 |
| ·PESA 及G-PESA 核磁共振氢谱分析 | 第38-39页 |
| ·PESA 及G-PESA 的分子量及分布 | 第39-40页 |
| ·PSEA 及G-PESA 的热性能分析 | 第40-41页 |
| ·PSEA 及G-PESA 的DSC 分析 | 第40页 |
| ·PSEA 及G-PESA 的热重分析 | 第40-41页 |
| ·G-PESA 胶体粒子相关性能表征 | 第41-44页 |
| ·粒子的表面带电和稳定性情况 | 第41页 |
| ·不同酸值下G-PESA 对胶体粒子粒径的影响 | 第41-42页 |
| ·不同中和度对胶体粒子粒径的影响 | 第42-43页 |
| ·不同TMP(EO)TA 添加量对胶体粒子粒径的影响 | 第43页 |
| ·动态激光光散射(DLS)表征的粒径分布 | 第43-44页 |
| ·胶体粒子的TEM 表征 | 第44页 |
| ·G-PESA 阳极电沉积成膜过程的研究 | 第44-46页 |
| ·G-PESA 阳极电沉积成膜过程的探讨 | 第44-45页 |
| ·不同电泳电压对于光刻胶膜层厚度的影响 | 第45页 |
| ·电压对电沉积过程中电流密度变化的影响 | 第45-46页 |
| ·G-PESA 固化膜的拉伸性能表征 | 第46-47页 |
| ·G-PESA 在阳极电沉积光致抗蚀剂中的应用 | 第47-48页 |
| ·阳极电沉积光致抗蚀剂的分辨率 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 结论与展望 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 附录：作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第56页 |