基于白光扫描干涉术的微结构大范围表征方法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·微结构测试 | 第8-13页 |
| ·微结构的测试需求 | 第8页 |
| ·微结构的测量方法 | 第8-12页 |
| ·接触式测量 | 第9-10页 |
| ·非接触式测量 | 第10-12页 |
| ·存在问题 | 第12页 |
| ·微结构几何量测量的发展趋势 | 第12-13页 |
| ·白光干涉术的发展现状和趋势 | 第13-14页 |
| ·课题来源与主要研究工作 | 第14-16页 |
| 第二章 基于白光扫描干涉术的大范围测量原理 | 第16-32页 |
| ·白光扫描干涉测量方法的原理 | 第16-24页 |
| ·白光干涉的典型特性 | 第16-18页 |
| ·白光扫描干涉测量方法 | 第18-24页 |
| ·白光垂直扫描干涉测量 | 第19-20页 |
| ·白光水平扫描干涉测量 | 第20-24页 |
| ·垂直扫描和水平扫描的比较 | 第24页 |
| ·图像拼接 | 第24-28页 |
| ·图像拼接流程 | 第25页 |
| ·图像配准 | 第25-27页 |
| ·图像融合 | 第27-28页 |
| ·包络峰探测算法 | 第28-32页 |
| 第三章 测量系统设计与构建 | 第32-46页 |
| ·显微干涉光学系统 | 第32-35页 |
| ·显微干涉仪 | 第32-34页 |
| ·光学成像系统 | 第34-35页 |
| ·纳米测量机 | 第35-39页 |
| ·NMM的基本原理 | 第35-36页 |
| ·NMM作为扫描定位平台 | 第36-37页 |
| ·NMM的定位噪声 | 第37-39页 |
| ·图像采集系统 | 第39-40页 |
| ·硬件组成 | 第40-41页 |
| ·软件实现 | 第41-46页 |
| ·LABVIEW控制界面 | 第41-45页 |
| ·MATLAB数据处理 | 第45-46页 |
| 第四章 实验结果与分析 | 第46-73页 |
| ·系统性能与精度评价 | 第46-48页 |
| ·图像像素的标定 | 第48-51页 |
| ·z方向大范围测量 | 第51-55页 |
| ·垂直扫描&图像拼接大范围测量 | 第55-65页 |
| ·单次大视场测量 | 第55-57页 |
| ·小视场下有重叠的图像拼接测量 | 第57-59页 |
| ·小视场下无重叠的图像拼接测量 | 第59-63页 |
| ·垂直扫描&无重叠图像拼接大范围测量 | 第63-65页 |
| ·水平扫描大范围测量 | 第65-73页 |
| 第五章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
