| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-32页 |
| ·微电感的研究背景 | 第11-13页 |
| ·微电感器件结构特点 | 第13-18页 |
| ·平面螺旋型电感器件 | 第13-14页 |
| ·螺线管型电感器件 | 第14-17页 |
| ·曲折结构电感器件 | 第17页 |
| ·夹心条状结构电感器件 | 第17-18页 |
| ·磁性薄膜材料 | 第18-20页 |
| ·坡莫合金 | 第18-19页 |
| ·铁氧体 | 第19页 |
| ·非晶、纳米晶软磁材料 | 第19-20页 |
| ·微电感的损耗机制 | 第20-22页 |
| ·欧姆损耗 | 第20-21页 |
| ·磁性材料的损耗 | 第21-22页 |
| ·衬底损耗 | 第22页 |
| ·微电感的应用 | 第22-26页 |
| ·微电感在无线通信电路中的应用 | 第23-24页 |
| ·微电感在电源管理电路中的应用 | 第24-26页 |
| ·本课题研究的意义及主要内容 | 第26-28页 |
| ·本课题研究的意义 | 第26-27页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第27-28页 |
| 参考文献 | 第28-32页 |
| 第二章 螺线管微电感磁芯材料的性能研究 | 第32-43页 |
| ·Fe 基非晶合金带材的退火处理 | 第32-33页 |
| ·Fe 基非晶纳米晶材料高频磁导率的测量 | 第33-37页 |
| ·测量原理 | 第33-35页 |
| ·高频磁导率测试结果与分析 | 第35-37页 |
| ·Fe 基非晶纳米晶合金带材磁滞回线的测量 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-43页 |
| 第三章 磁芯螺线管微电感的模拟研究 | 第43-67页 |
| ·电感的计算方法 | 第43-44页 |
| ·微型电感的各种等效电路模型 | 第44-47页 |
| ·磁芯螺线管微电感的等效电路模型 | 第47-48页 |
| ·低频下磁芯螺线管微电感的电感量及直流电阻计算 | 第48-50页 |
| ·高频下磁芯螺线管微电感参数的计算表达式 | 第50-55页 |
| ·螺线管微电感的线圈电阻 | 第50-51页 |
| ·磁芯螺线管微电感的串联电感和磁芯等效电阻 | 第51-54页 |
| ·寄生电容 | 第54-55页 |
| ·磁芯螺线管微电感的电感量和品质因数计算 | 第55-56页 |
| ·磁芯螺线管微电感的模拟结果 | 第56-65页 |
| ·磁芯材料的电阻率对微电感性能的影响 | 第56-57页 |
| ·磁芯宽度对微电感性能的影响 | 第57-59页 |
| ·线圈匝数对微电感性能的影响 | 第59-60页 |
| ·线圈导体电阻率对微电感性能的影响 | 第60-61页 |
| ·线圈导体宽度对微电感性能的影响 | 第61-62页 |
| ·线圈导体间隙对微电感性能的影响 | 第62-63页 |
| ·线圈导体厚度对微电感性能的影响 | 第63-64页 |
| ·绝缘层厚度对微电感性能的影响 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 第四章 磁芯螺线管微电感的 MEMS 制备工艺 | 第67-91页 |
| ·基本MEMS 工艺 | 第67-78页 |
| ·光刻工艺 | 第67-71页 |
| ·微电镀工艺 | 第71-72页 |
| ·溅射淀积 | 第72-73页 |
| ·刻蚀工艺 | 第73-74页 |
| ·聚酰亚胺绝缘层的制备及抛光工艺 | 第74-78页 |
| ·MEMS 工艺检测 | 第78页 |
| ·FeCuNbSiB 纳米晶磁芯螺线管微电感的制备工艺 | 第78-84页 |
| ·NiFe 薄膜磁芯螺线管微电感的制备工艺 | 第84-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-91页 |
| 第五章 磁芯螺线管微电感的测试与分析 | 第91-109页 |
| ·微电感的测试原理 | 第91-94页 |
| ·NiFe 薄膜磁芯螺线管微电感的性能测试 | 第94-98页 |
| ·磁芯结构对微电感性能的影响 | 第94-97页 |
| ·磁芯厚度对微电感性能的影响 | 第97-98页 |
| ·无磁芯的螺线管微电感的性能测试 | 第98-100页 |
| ·Fe 基纳米晶磁芯螺线管微电感的性能测试 | 第100-104页 |
| ·实验结果与模拟结果的比较 | 第104-108页 |
| ·NiFe 薄膜磁芯微电感 | 第104-106页 |
| ·Fe 基纳米晶磁芯微电感 | 第106-108页 |
| ·本章小结 | 第108页 |
| 参考文献 | 第108-109页 |
| 第六章 总结与展望 | 第109-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第112页 |