MEMS平面磁芯螺旋微电感的制造技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-29页 |
| ·微电感的研究进展 | 第9-12页 |
| ·微电感器件结构特点 | 第12-15页 |
| ·螺线管型电感器件 | 第12-13页 |
| ·曲折结构电感器件 | 第13-14页 |
| ·夹心条状结构电感器件 | 第14页 |
| ·平面螺旋型电感器件 | 第14-15页 |
| ·磁芯材料的分类及其性能 | 第15-17页 |
| ·坡莫合金 | 第16页 |
| ·铁氧体 | 第16页 |
| ·非晶/纳米晶软磁材料 | 第16-17页 |
| ·微电感的损耗机制 | 第17-20页 |
| ·欧姆损耗 | 第17-18页 |
| ·磁性材料的损耗 | 第18-19页 |
| ·衬底损耗 | 第19-20页 |
| ·微电感的应用 | 第20-24页 |
| ·微电感在基本电路中的应用 | 第20-21页 |
| ·微电感在DC/DC 变换器中的应用 | 第21-24页 |
| ·本课题研究的意义及主要内容 | 第24-26页 |
| ·本课题研究的意义 | 第24-25页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第25-26页 |
| 参考文献 | 第26-29页 |
| 第二章 微电感磁芯材料的磁学性能研究 | 第29-41页 |
| ·磁芯材料高频磁导率的测量 | 第29-34页 |
| ·测量原理 | 第29-31页 |
| ·测试样品的制作工艺 | 第31-32页 |
| ·高频磁导率测试结果分析 | 第32-34页 |
| ·磁芯材料的磁滞回线测量 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 参考文献 | 第40-41页 |
| 第三章 平面磁芯螺旋微电感的模拟设计 | 第41-59页 |
| ·电感器件的物理基础 | 第41页 |
| ·线圈和磁芯模型及计算 | 第41-46页 |
| ·无磁芯方形平面螺旋电感模型及其计算 | 第41-43页 |
| ·磁芯模型 | 第43-45页 |
| ·电感量的计算 | 第45-46页 |
| ·品质因子Q | 第46-48页 |
| ·Q 值的定义 | 第46页 |
| ·集成电感的Q 值 | 第46-48页 |
| ·电感的参数计算 | 第48-50页 |
| ·线圈导体模型 | 第48页 |
| ·寄生电容 | 第48-50页 |
| ·微电感的模拟设计结果 | 第50-57页 |
| ·线圈匝数对微电感性能的影响 | 第50-52页 |
| ·导体线宽对微电感性能的影响 | 第52-53页 |
| ·导体间距对微电感性能的影响 | 第53-54页 |
| ·退火磁芯对微电感性能的影响 | 第54-56页 |
| ·磁芯厚度对微电感性能的影响 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-59页 |
| 第四章 平面磁芯螺旋微电感的 MEMS 制备工艺 | 第59-74页 |
| ·基本工艺过程 | 第59-65页 |
| ·光刻工艺 | 第59-62页 |
| ·微电镀工艺 | 第62页 |
| ·溅射沉积 | 第62-63页 |
| ·刻蚀工艺 | 第63-64页 |
| ·聚酰亚胺工艺 | 第64-65页 |
| ·工艺检测 | 第65页 |
| ·平面磁芯螺旋微电感的工艺流程 | 第65-70页 |
| ·平面磁芯螺旋微电感的样品图 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-74页 |
| 第五章 平面磁芯螺旋微电感的测试与分析 | 第74-92页 |
| ·微电感的测试原理 | 第74-77页 |
| ·平面磁芯螺旋微电感的性能测试 | 第77-87页 |
| ·相同磁芯材料下不同结构微电感的性能测试 | 第77-85页 |
| ·相同线圈结构下不同磁芯的电感性能测试 | 第85-87页 |
| ·结果分析与讨论 | 第87-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-92页 |
| 第六章 总结与展望 | 第92-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文、专利 | 第95页 |
