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准一维硅纳米材料的制备及其场发射特性

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第一章 绪论第12-33页
   ·准一维硅纳米材料的制备方法第13-18页
     ·金属催化剂辅助方法第13-14页
     ·氧化物辅助方法第14-15页
     ·无催化方法第15-16页
     ·化学腐蚀和物理刻蚀法第16-18页
   ·准一维硅纳米材料的基本物理性质第18-26页
     ·能带结构第19-21页
     ·电输运性质第21-23页
     ·热输运性质第23-24页
     ·场发射性质第24-26页
   ·准一维硅纳米材料的应用第26-31页
     ·太阳能电池第26-27页
     ·锂离子电池第27-28页
     ·传感器第28-31页
   ·本文主要研究内容和思路第31-33页
第二章 金属催化硅纳米线的生长及其机理分析第33-58页
   ·实验流程第33-34页
   ·实验步骤第34-37页
     ·硅衬底处理第34页
     ·真空沉积金属薄膜第34页
     ·化学气相沉积生长硅线第34-35页
     ·样品表征第35-37页
   ·金催化生长硅纳米线第37-49页
     ·氧气含量对生长的影响第40-43页
     ·VLS过程中金原子的迁移第43-46页
     ·硅纳米线的缺陷第46-49页
   ·草酸铜诱导生长硅纳米线第49-57页
     ·阳极氧化铝衬底的制备第49-51页
     ·草酸铜诱导生长硅纳米线及其生长机理分析第51-55页
     ·硅纳米线拉曼谱第55-57页
   ·本章小结第57-58页
第三章 硅纳米锥生长及其动力学研究第58-80页
   ·硅纳米锥制备概述第61-63页
   ·单段纳米锥第63-66页
     ·实验方法第63页
     ·单晶纳米锥形貌结构表征第63-64页
     ·单段纳米锥生长速率统计第64-66页
   ·多段纳米锥的设计与生长第66-69页
     ·总气压调节第66页
     ·氢气含量调节第66-67页
     ·多段纳米锥设计第67-69页
   ·纳米锥生长控制第69-73页
     ·多段纳米锥生长速率统计第69页
     ·环境气体对纳米锥生长速率的影响第69-71页
     ·锥角的控制第71-73页
   ·硅纳米锥生长动力学第73-77页
     ·径向生长第73-76页
     ·轴向生长第76-77页
   ·硅纳米锥截面形貌转变第77-79页
   ·本章小结第79-80页
第四章 硅纳米线阵列的场发射性质研究第80-97页
   ·实验设计与过程第80-88页
     ·化学腐蚀发制备硅线阵列第80-84页
     ·硅线阵列上碳化硅纳米线的制备第84-87页
     ·场发射的测量第87-88页
   ·碳化硅覆盖前后的硅线阵列的场发射性能研究第88-96页
     ·氧化镍催化剂浓度第89-91页
     ·碳化硅长度第91-92页
     ·不同衬底第92-95页
     ·场发射稳定性测试第95-96页
   ·本章小结第96-97页
第五章 总结第97-99页
参考文献第99-114页
附录Ⅰ.博士研究期间发表的论文第114-116页
附录Ⅱ.致谢第116页

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