基于组合面型基准件的角度误差测量关键技术研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-22页 |
| 1.1 研究的背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.1.1 课题的背景 | 第8-9页 |
| 1.1.2 研究的意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-20页 |
| 1.2.1 机床几何误差参数检测现状 | 第10-18页 |
| 1.2.2 角度非接触测量研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3 本文的研究目标与研究内容 | 第20-22页 |
| 1.3.1 研究目标 | 第20页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 系统的测量原理 | 第22-30页 |
| 2.1 L型基准件的设计原理 | 第22-25页 |
| 2.1.1 L型基准件的设计来源 | 第22-23页 |
| 2.1.2 L型基准件的标定方法 | 第23-25页 |
| 2.2 角度测量原理 | 第25-26页 |
| 2.3 位移测量原理 | 第26-28页 |
| 2.4 垂直度的测量 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 测量系统的小型化研制 | 第30-42页 |
| 3.1 光学测头传感器的设计 | 第30-37页 |
| 3.1.1 系统的测量原理 | 第31页 |
| 3.1.2 测量光路 | 第31-32页 |
| 3.1.3 选用的光学器件简介 | 第32-35页 |
| 3.1.4 激光光束特征参数 | 第35-37页 |
| 3.2 基准件参数的设计 | 第37-39页 |
| 3.3 ZEMAX仿真 | 第39-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 成像光斑处理 | 第42-54页 |
| 4.1 光斑中心定位 | 第42-46页 |
| 4.1.1 灰度重心法 | 第42-43页 |
| 4.1.2 灰度质心法 | 第43页 |
| 4.1.3 高斯拟合 | 第43-44页 |
| 4.1.4 本文中采用的方法 | 第44-46页 |
| 4.2 光斑中心的稳定性与精度定位实验 | 第46-52页 |
| 4.2.1 光斑中心的稳定性实验 | 第47-50页 |
| 4.2.2 光斑中心的定位精度实验 | 第50-52页 |
| 4.3 本章小结 | 第52-54页 |
| 第5章 系统标定及角度测量实验 | 第54-70页 |
| 5.1 系统的标定实验 | 第54-63页 |
| 5.1.1 L型基准件的标定实验 | 第54-57页 |
| 5.1.2 像素的标定实验 | 第57-61页 |
| 5.1.3 接收器位置的标定实验 | 第61-63页 |
| 5.2 三维位移台角度测量实验 | 第63-68页 |
| 5.2.1 角度测量的稳定性实验 | 第64-65页 |
| 5.2.2 角度测量的重复性实验 | 第65-66页 |
| 5.2.3 角度测量的精度验证实验 | 第66-68页 |
| 5.3 本章小结 | 第68-70页 |
| 第6章 系统误差分析 | 第70-82页 |
| 6.1 表面粗糙度的影响 | 第70-73页 |
| 6.2 阈值选取的影响 | 第73-75页 |
| 6.3 光束大小的影响 | 第75-77页 |
| 6.4 遇到的问题及解决方案 | 第77-81页 |
| 6.6 本章小结 | 第81-82页 |
| 第7章 总结与展望 | 第82-84页 |
| 7.1 总结 | 第82-83页 |
| 7.2 展望 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第88-90页 |
| 附录 | 第90-92页 |
| 致谢 | 第92页 |
