| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第18-28页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第18-20页 |
| 1.2 干涉仪国内外发展现状 | 第20-25页 |
| 1.2.1 国外发展现状 | 第20-24页 |
| 1.2.2 国内发展现状 | 第24-25页 |
| 1.3 本论文主要工作和内容安排 | 第25-28页 |
| 第2章 短相干菲索型动态干涉仪系统研究 | 第28-48页 |
| 2.1 动态干涉仪的基本原理 | 第28-30页 |
| 2.2 短相干菲索型动态干涉仪原理分析及设计 | 第30-36页 |
| 2.2.1 光场的时间相干性 | 第30-31页 |
| 2.2.2 基于圆偏振光干涉的空间同步移相法研究 | 第31-34页 |
| 2.2.3 短相干菲索型动态干涉仪原理设计 | 第34-36页 |
| 2.3 短相干菲索型动态干涉仪系统设计 | 第36-46页 |
| 2.3.1 短相干菲索型动态干涉仪光路分析 | 第36-37页 |
| 2.3.2 短相干菲索型动态干涉仪光机结构设计 | 第37-46页 |
| 2.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第3章 短相干光源及关键光学元件制备技术研究 | 第48-66页 |
| 3.1 半导体短相干光源研究 | 第48-55页 |
| 3.1.1 半导体激光器的纵模特性 | 第49页 |
| 3.1.2 短相干光源相干长度测量及工作电流确定 | 第49-55页 |
| 3.2 关键光学元件制备技术研究 | 第55-64页 |
| 3.2.1 QWP制备技术研究 | 第56-58页 |
| 3.2.2 平面反射镜镀膜技术研究[64] | 第58-60页 |
| 3.2.3 标准镜制备技术研究 | 第60-64页 |
| 3.3 本章小结 | 第64-66页 |
| 第4章 多路干涉条纹图像配准技术研究 | 第66-92页 |
| 4.1 干涉条纹图位置不一致对测量结果的影响 | 第66-68页 |
| 4.2 图像配准技术 | 第68-70页 |
| 4.2.1 基于图像灰度的配准 | 第68-69页 |
| 4.2.2 基于图像特征的配准 | 第69-70页 |
| 4.3 本系统采用的图像配准方法 | 第70-88页 |
| 4.3.1 CCD安装位置偏差及产生的影响分析 | 第71-73页 |
| 4.3.2 同图像特征的多CCD硬件配准方法 | 第73-80页 |
| 4.3.3 十字叉丝特征图像的软件配准方法 | 第80-88页 |
| 4.4 实验结果与分析 | 第88-90页 |
| 4.5 本章小结 | 第90-92页 |
| 第5章 干涉面型重构算法研究 | 第92-108页 |
| 5.1 采集干涉条纹 | 第92-94页 |
| 5.2 图像预处理 | 第94-99页 |
| 5.2.1 基于非有效区域背景光灰度值差异的图像归一化 | 第94-96页 |
| 5.2.2 干涉条纹图像滤波处理 | 第96-99页 |
| 5.3 相位解包裹技术研究 | 第99-104页 |
| 5.3.1 基于离散余弦变换最小二乘法的相位解包裹 | 第100-102页 |
| 5.3.2 基于泽尼克多项式的面型拟合研究 | 第102-104页 |
| 5.4 面型重构结果验证 | 第104-105页 |
| 5.5 本章小结 | 第105-108页 |
| 第6章 干涉系统误差分析与补偿技术研究 | 第108-128页 |
| 6.1 分光部分光学元件误差分析 | 第108-117页 |
| 6.1.1 平面镜1 及平面镜2 的误差分析 | 第111-112页 |
| 6.1.2 QWP1及QWP2 的误差分析 | 第112-114页 |
| 6.1.3 主PBS的误差分析 | 第114-115页 |
| 6.1.4 分光部分组合误差分析 | 第115-117页 |
| 6.2 误差补偿方法研究 | 第117-122页 |
| 6.2.1 平面镜1 及平面镜2 的误差补偿分析 | 第118-119页 |
| 6.2.2 QWP1及QWP2 的误差补偿分析 | 第119页 |
| 6.2.3 主PBS的误差补偿分析 | 第119页 |
| 6.2.4 分光部分组合误差补偿分析 | 第119-121页 |
| 6.2.5 包含移相器光学元件误差的组合误差补偿分析 | 第121-122页 |
| 6.3 实验及结果 | 第122-125页 |
| 6.4 系统测量重复性验证 | 第125-126页 |
| 6.5 本章小结 | 第126-128页 |
| 第7章 总结与展望 | 第128-132页 |
| 7.1 论文工作总结 | 第128-129页 |
| 7.2 创新性成果 | 第129-130页 |
| 7.3 展望 | 第130-132页 |
| 参考文献 | 第132-140页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第140-142页 |
| 指导教师及作者简介 | 第142-144页 |
| 致谢 | 第144页 |
