| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 引言 | 第9-22页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 电感器件发展趋势及其制作工艺 | 第11-14页 |
| 1.2.1 电感器件发展趋势 | 第11-12页 |
| 1.2.2 电感器件制作工艺 | 第12-14页 |
| 1.3 LTCC技术及其应用 | 第14-16页 |
| 1.3.1 LTCC技术 | 第14页 |
| 1.3.2 LTCC材料体系 | 第14-15页 |
| 1.3.3 LTCC技术的研究现状与发展趋势 | 第15-16页 |
| 1.4 3D打印技术及其应用 | 第16-20页 |
| 1.4.1 3D打印技术简介 | 第16-18页 |
| 1.4.2 3D打印工艺的应用现状与发展趋势 | 第18-20页 |
| 1.4.3 3D打印技术在电子方面的应用 | 第20页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 基于LTCC技术的电感器设计与仿真 | 第22-29页 |
| 2.1 LTCC电感结构 | 第22-23页 |
| 2.2 电感模型参数的提取 | 第23-26页 |
| 2.3 LTCC平面折线型电感的设计与分析 | 第26-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 折线型电感器集成打印工艺研究 | 第29-38页 |
| 3.1 主要原料与设备 | 第29-32页 |
| 3.1.1 LTCC浆料 | 第29-30页 |
| 3.1.2 纳米银浆料 | 第30-31页 |
| 3.1.3 纳米材料沉积系统 | 第31-32页 |
| 3.2 集成打印工艺研究 | 第32-37页 |
| 3.2.1 LTCC电感制备工艺流程 | 第32-33页 |
| 3.2.2 浆料打印过程分析 | 第33-37页 |
| 3.3 平面折线型电感 | 第37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 电感器烧结工艺及其性能研究 | 第38-48页 |
| 4.1 烧结工艺 | 第39-40页 |
| 4.2 LTCC电感烧结分析 | 第40-44页 |
| 4.2.1 纳米银浆料与LTCC基片的共烧过程中的收缩分析 | 第40-42页 |
| 4.2.2 升温速率对LTCC微观组织的影响 | 第42-44页 |
| 4.2.3 烧结温度对介电性能的影响 | 第44页 |
| 4.3 LTCC电感性能测试 | 第44-47页 |
| 4.3.1 电阻率测试 | 第45-46页 |
| 4.3.2 有效电感测试 | 第46-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 总结与展望 | 第48-50页 |
| 5.1 总结 | 第48-50页 |
| 5.2 展望 | 第50页 |
| 致谢 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-57页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第57页 |