| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 引言 | 第7-8页 |
| 1.2 非球面微透镜阵列制作方法概述 | 第8-10页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第10-13页 |
| 第二章 具有优良车削与刻蚀性能的掩模材料选择及其掩模层制备工艺 | 第13-25页 |
| 2.1 引言 | 第13页 |
| 2.2 具有优良车削与刻蚀性能的掩模材料选择 | 第13-18页 |
| 2.2.1 光刻胶材料的车削与刻蚀性能分析 | 第13-15页 |
| 2.2.2 光敏胶材料的车削与刻蚀性能分析 | 第15-16页 |
| 2.2.3 PMMA材料的车削与刻蚀性能分析 | 第16-18页 |
| 2.3 掩模材料的优化 | 第18-20页 |
| 2.4 具有优良车削与刻蚀性能的掩模层制备中出现的问题及其解决方法 | 第20-24页 |
| 2.4.1 掩模表面“褶皱”问题及其解决方法 | 第20-22页 |
| 2.4.2 影响掩模厚度均匀性的因素 | 第22-23页 |
| 2.4.3 影响掩模层整体厚度的因素 | 第23-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 单点金刚石车削技术加工非球面微透镜阵列的切削轨迹规划 | 第25-36页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 单点金刚石机床设备构造 | 第25-27页 |
| 3.3 非球面微透镜阵列切削算法 | 第27-32页 |
| 3.3.1 非球面微透镜阵列建模原理 | 第27-29页 |
| 3.3.2 微透镜阵列切削轨迹生成算法 | 第29-30页 |
| 3.3.3 车刀圆弧半径补偿 | 第30-32页 |
| 3.3.4 车削加工非球面微透镜阵列的加工参数 | 第32页 |
| 3.4 加工精度的影响因素 | 第32-35页 |
| 3.4.1 切削参数在加工中的影响 | 第32-34页 |
| 3.4.2 环境因素对车削加工的影响 | 第34-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 利用反应离子刻蚀工艺对掩模层进行图形转移 | 第36-43页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 反应离子刻蚀原理简介 | 第36-38页 |
| 4.3 影响反应离子刻蚀结果的工艺参数 | 第38-42页 |
| 4.3.1 反应气体流速变化对刻蚀结果的影响 | 第38-39页 |
| 4.3.2 射频功率变化对刻蚀结果的影响 | 第39-40页 |
| 4.3.3 反应室气压变化对刻蚀结果的影响 | 第40页 |
| 4.3.4 样品材料表面温度变化对刻蚀结果的影响 | 第40-41页 |
| 4.3.5 刻蚀后具有良好面型精度的最佳工艺参数选择 | 第41-42页 |
| 4.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第五章 石英非球面微透镜阵列的制作与检测 | 第43-49页 |
| 5.1 引言 | 第43页 |
| 5.2 实验装置 | 第43-44页 |
| 5.3 石英玻璃非球面微透镜阵列的制作 | 第44-46页 |
| 5.4 石英玻璃非球面微透镜阵列的检测 | 第46-48页 |
| 5.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第六章 总结与展望 | 第49-51页 |
| 6.1 总结 | 第49页 |
| 6.2 展望 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-53页 |
