| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第11-12页 |
| 1.2 稳频技术国内外研究现状 | 第12-20页 |
| 1.3 课题研究的主要内容 | 第20-21页 |
| 第2章 激光器频率稳定性及偏频锁定稳频方案 | 第21-31页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 激光外差干涉位移测量原理 | 第21-22页 |
| 2.3 激光器频率稳定性及其对测量精度的影响 | 第22-27页 |
| 2.3.1 激光器频率稳定性及评定标准 | 第22-23页 |
| 2.3.2 频率稳定性对激光干涉测量的影响 | 第23-27页 |
| 2.4 偏频锁定热稳频原理及实施方案 | 第27-30页 |
| 2.4.1 谐振腔选模原理 | 第27-28页 |
| 2.4.2 偏频锁定热稳频原理 | 第28页 |
| 2.4.3 偏频锁定热稳频偏频信号检测及数字控制器设计方案 | 第28-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 偏频信号检测单元设计 | 第31-42页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 光信号拍频原理与光电探测电路设计 | 第31-34页 |
| 3.2.1 光信号拍频原理 | 第31-33页 |
| 3.2.2 光电探测器选型及偏频检测预处理电路设计 | 第33-34页 |
| 3.3 偏频信号频率测量模块设计 | 第34-41页 |
| 3.3.1 普通多周期同步测频方法分析 | 第35-36页 |
| 3.3.2 偏频信号频率调制特性分析 | 第36-37页 |
| 3.3.3 多调制周期同步测频原理 | 第37-40页 |
| 3.3.4 多调制周期同步数字测频模块设计 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 数字稳频控制器设计 | 第42-54页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 数字稳频控制器硬件系统设计 | 第42-44页 |
| 4.3 数字稳频控制器软件系统设计 | 第44-47页 |
| 4.4 稳频控制算法设计 | 第47-53页 |
| 4.4.1 系统模型确立及分析 | 第47-48页 |
| 4.4.2 稳频控制系统热模型的辨识 | 第48-50页 |
| 4.4.3 Smith-PI稳频控制算法及实现 | 第50-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 偏频锁定热稳频系统实验及分析 | 第54-64页 |
| 5.1 引言 | 第54页 |
| 5.2 偏频信号检测单元性能实验分析 | 第54-56页 |
| 5.3 D/A转换及电热驱动单元特性实验 | 第56-58页 |
| 5.4 稳频控制系统特性的实验分析 | 第58-60页 |
| 5.4.1 稳频控制系统预热时间的实验分析 | 第58页 |
| 5.4.2 稳频控制系统热模型的阶跃响应辨识 | 第58-60页 |
| 5.5 偏频锁定稳频控制实验及分析 | 第60-63页 |
| 5.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |