| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 引言 | 第9-11页 |
| 1.2 三维激光刻蚀系统的研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3 本文主要研究内容与技术路线 | 第15-16页 |
| 1.4 论文主要创新点 | 第16-18页 |
| 2 基于FIDIA五轴机床的三维激光刻蚀系统运动学分析 | 第18-29页 |
| 2.1 前言 | 第18-20页 |
| 2.2 FIDIA 五轴机床连杆间坐标变换原理 | 第20-24页 |
| 2.3 基于 FIDIA 五轴机床的三维激光刻蚀系统正向运动学分析 | 第24-26页 |
| 2.4 基于 FIDIA 五轴机床的三维激光刻蚀系统逆向运动学反解 | 第26-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 CAD模型与工件模具定位匹配算法 | 第29-37页 |
| 3.1 前言 | 第29-30页 |
| 3.2 三点定位匹配算法 | 第30-32页 |
| 3.3 四点定位匹配算法 | 第32-34页 |
| 3.4 四点定位匹配算法优化 | 第34-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 4 双振镜扫描畸变校正系统 | 第37-46页 |
| 4.1 双振镜扫描畸变来源与分类 | 第37-38页 |
| 4.2 基于双线性插值的振镜扫描校正算法 | 第38-39页 |
| 4.3 基于 FIDIA 五轴数控机床的双线性插值校正算法实现 | 第39-43页 |
| 4.4 振镜扫描校正的精度分析与实验验证 | 第43-45页 |
| 4.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 5 投影式三维激光刻蚀精度及工艺研究 | 第46-57页 |
| 5.1 投影式三维激光刻蚀误差来源 | 第46-49页 |
| 5.2 投影式振镜扫描激光分层刻蚀误差模型 | 第49-51页 |
| 5.3 三维激光刻蚀中工件表面激光功率密度分布特性的研究 | 第51-54页 |
| 5.4 投影式振镜扫描三维激光刻蚀实验研究 | 第54-55页 |
| 5.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 6 总结与展望 | 第57-59页 |
| 6.1 本文总结 | 第57-58页 |
| 6.2 展望与建议 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
