| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 太阳能电池的发展 | 第9-10页 |
| 1.1.1 太阳能电池的研究背景 | 第9页 |
| 1.1.2 太阳能电池的发展现状 | 第9-10页 |
| 1.2 铜铟镓硒薄膜太阳能电池简介 | 第10-17页 |
| 1.2.1 铜铟镓硒薄膜太阳能电池的发展 | 第11-12页 |
| 1.2.2 铜铟镓硒薄膜太阳能电池的结构及工作原理 | 第12-13页 |
| 1.2.3 铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制备方法 | 第13-17页 |
| 1.3 铜铟镓硒薄膜的物理性质 | 第17-22页 |
| 1.3.1 铜铟镓硒薄膜的光学特性 | 第17-18页 |
| 1.3.2 铜铟镓硒薄膜的电学特性 | 第18-20页 |
| 1.3.3 铜铟镓硒薄膜的材料特性 | 第20-22页 |
| 1.4 本论文的研究内容与创新点 | 第22-24页 |
| 第2章 铜铟镓硒薄膜的制备和表征方法 | 第24-33页 |
| 2.1 实验材料 | 第24页 |
| 2.2 实验主要仪器及设备 | 第24-26页 |
| 2.2.1 磁控溅射设备 | 第24-25页 |
| 2.2.2 快速退火设备 | 第25-26页 |
| 2.3 实验方案 | 第26-28页 |
| 2.3.1 衬底的选择与清洗 | 第26页 |
| 2.3.2 底电极 Mo 层的制备工艺 | 第26-27页 |
| 2.3.3 吸收层 CIGS 薄膜的制备工艺 | 第27-28页 |
| 2.3.4 吸收层 CIGS 薄膜的退火工艺 | 第28页 |
| 2.4 表征方法 | 第28-33页 |
| 2.4.1 X 射线衍射分析 | 第28-31页 |
| 2.4.2 拉曼光谱分析 | 第31页 |
| 2.4.3 场发射扫描电子显微镜分析 | 第31页 |
| 2.4.4 四探针测试仪 | 第31页 |
| 2.4.5 霍尔效应测试仪 | 第31-32页 |
| 2.4.6 紫外可见光分度计 | 第32-33页 |
| 第3章 铜铟镓硒薄膜的制备及性能研究 | 第33-49页 |
| 3.1 底电极钼层的制备与表征 | 第33-34页 |
| 3.2 吸收层铜铟镓硒薄膜的制备与表征 | 第34-47页 |
| 3.2.1 衬底温度对铜铟镓硒薄膜的影响研究 | 第34-41页 |
| 3.2.2 工作气压对铜铟镓硒薄膜的影响研究 | 第41-47页 |
| 3.3 本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 退火工艺对铜铟镓硒薄膜结构和性能的影响 | 第49-58页 |
| 4.1 CIGS 薄膜的退火工艺 | 第49页 |
| 4.2 退火温度对铜铟镓硒薄膜结构的影响 | 第49-53页 |
| 4.2.1 退火温度对铜铟镓硒薄膜物相的影响 | 第49-50页 |
| 4.2.2 退火温度对铜铟镓硒薄膜织构的影响 | 第50-52页 |
| 4.2.3 退火温度对铜铟镓硒薄膜残余应力的影响 | 第52-53页 |
| 4.3 退火温度对铜铟镓硒薄膜形貌的影响 | 第53-55页 |
| 4.4 退火温度对铜铟镓硒薄膜电学性能的影响 | 第55-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-66页 |
| 致谢 | 第66页 |