| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 微流控技术的应用和微流道简介 | 第9-11页 |
| 1.2 声波谐振器研究背景 | 第11-15页 |
| 1.3 薄膜体声波谐振器国内外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.4 课题的意义与研究内容 | 第18-21页 |
| 1.4.1 课题的研究意义 | 第18-19页 |
| 1.4.2 课题的研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 集成微流道的薄膜体声波传感器芯片相关原理和实现 | 第21-31页 |
| 2.1 薄膜体声波谐振器传感的理论基础 | 第21-22页 |
| 2.1.1 薄膜体声波谐振器原理 | 第21页 |
| 2.1.2 等效模型 | 第21-22页 |
| 2.2 薄膜体声波谐振器的实现方法 | 第22-25页 |
| 2.3 谐振器的传感原理 | 第25-26页 |
| 2.4 传感器的重要参数 | 第26-27页 |
| 2.5 微流体技术和微流道的理论基础 | 第27-29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 集成微流道的薄膜体声波传感器设计与加工 | 第31-43页 |
| 3.1 集成微流道的薄膜体声波传感器结构设计 | 第31-35页 |
| 3.1.1 微流道尺寸设计 | 第32-33页 |
| 3.1.2 微流道结构层设计 | 第33-34页 |
| 3.1.3 传感器表面敏感材料的选择 | 第34-35页 |
| 3.2 掩膜版版图设计 | 第35页 |
| 3.3 关键加工工艺探究 | 第35-39页 |
| 3.3.1 牺牲层刻蚀方法 | 第35-38页 |
| 3.3.2 流道结构层的加工工艺 | 第38-39页 |
| 3.4 器件加工流程 | 第39-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 集成微流道的薄膜体声波传感器系统器件测试和应用研究 | 第43-57页 |
| 4.1 实验平台的搭建 | 第43-45页 |
| 4.2 集成微流道的薄膜体声波谐振器器件性能测试和分析 | 第45-49页 |
| 4.3 集成微流道的薄膜体声波谐振器在生化传感器中的应用 | 第49-52页 |
| 4.3.1 葡萄糖浓度检测实验 | 第49-51页 |
| 4.3.2 甘油溶液浓度检测实验 | 第51-52页 |
| 4.4 传感器的模型与仿真 | 第52-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 总结 | 第57页 |
| 5.2 应用前景 | 第57-58页 |
| 5.3 不足与改进 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-67页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
