| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 块体纳米材料 | 第10-13页 |
| 1.3 SiC、DLC、CNx薄膜 | 第13-19页 |
| 1.3.1 SiC薄膜及其摩擦学性能 | 第13页 |
| 1.3.2 碳基薄膜(DLC、CNx)及其摩擦学性能 | 第13-19页 |
| 1.4 本文的研究意义 | 第19-20页 |
| 1.5 本文的研究内容和目标 | 第20-22页 |
| 1.5.1 研究内容 | 第20页 |
| 1.5.2 研究目标 | 第20-22页 |
| 第二章 实验方法 | 第22-32页 |
| 2.1 薄膜的制备 | 第22-26页 |
| 2.1.1 磁控溅射 | 第22-24页 |
| 2.1.2 碳基薄膜的制备 | 第24-26页 |
| 2.1.2.1 薄膜制备基本工艺过程 | 第24页 |
| 2.1.2.2 基材 | 第24页 |
| 2.1.2.3 基材表面预处理 | 第24-25页 |
| 2.1.2.4 射频反溅清洗基材、清洗靶材 | 第25页 |
| 2.1.2.5 磁控溅射制备薄膜 | 第25-26页 |
| 2.2 扫描电子显微分析 | 第26页 |
| 2.3 纳米力学性能 | 第26页 |
| 2.4 界面结合力的测试 | 第26-27页 |
| 2.5 摩擦磨损试验 | 第27页 |
| 2.6 模拟体液的配制 | 第27-29页 |
| 2.7 轮廓仪测量 | 第29-30页 |
| 2.8 抗凝血试验 | 第30-32页 |
| 第三章 纳米晶体Ti和常规Ti表面磁控溅射的SiC薄膜 | 第32-44页 |
| 3.1 SiC薄膜表面形貌与纳米力学性能 | 第32-35页 |
| 3.2 薄膜基材的界面特征 | 第35-36页 |
| 3.3 摩擦磨损性能 | 第36-40页 |
| 3.3.1 摩擦系数 | 第36-37页 |
| 3.3.2 磨损表面SEM形貌 | 第37-39页 |
| 3.3.3 磨损速率 | 第39-40页 |
| 3.4 抗凝血性能 | 第40页 |
| 3.5 讨论 | 第40-41页 |
| 3.6 结论 | 第41-44页 |
| 第四章 纳米晶体Ti和常规Ti表面磁控溅射的DLC/SiC双层薄膜 | 第44-54页 |
| 4.1 DLC薄膜的表面形貌与纳米力学性能 | 第44-46页 |
| 4.2 薄膜基材的界面特征 | 第46-48页 |
| 4.3 摩擦磨损性能 | 第48-52页 |
| 4.3.1 摩擦系数 | 第48-49页 |
| 4.3.2 磨损表面SEM形貌 | 第49-50页 |
| 4.3.3 磨损速率 | 第50-52页 |
| 4.4 抗凝血性能 | 第52页 |
| 4.5 讨论 | 第52-53页 |
| 4.6 结论 | 第53-54页 |
| 第五章 纳米晶体Ti及常规Ti表面磁控溅射的CNX/SiC双层薄膜 | 第54-64页 |
| 5.1 CNx薄膜的表面形貌与纳米力学性能 | 第54-56页 |
| 5.2 薄膜基材的界面特征 | 第56-58页 |
| 5.3 摩擦磨损性能 | 第58-61页 |
| 5.3.1 摩擦系数 | 第58-59页 |
| 5.3.2 磨损表面SEM形貌 | 第59-60页 |
| 5.3.3 磨损速率 | 第60-61页 |
| 5.4 抗凝血性能 | 第61-62页 |
| 5.5 讨论 | 第62页 |
| 5.6 结论 | 第62-64页 |
| 本文研究的总结 | 第64-66页 |
| 本文研究的创新点 | 第66-67页 |
| 需要进一步研究的工作 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 硕士学位期间发表的学术论文(成果) | 第74页 |
