| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 光刻胶的发展情况 | 第9-11页 |
| 1.1.1 光刻胶国外情况 | 第9页 |
| 1.1.2 光刻胶国内生产现状 | 第9-10页 |
| 1.1.3 光刻胶及光刻工艺概述 | 第10-11页 |
| 1.2 193nm光刻胶 | 第11-15页 |
| 1.2.1 193nm光刻胶制备流程 | 第11-12页 |
| 1.2.2 193nm光刻胶的特点及其分类 | 第12页 |
| 1.2.3 193nm光刻胶对主体树脂的要求 | 第12-15页 |
| 1.3 金刚烷酯的合成研究 | 第15-18页 |
| 1.3.1 甲基丙烯酸(2-取代-2-金刚烷)酯的合成研究 | 第15-18页 |
| 1.3.2 1-取代-1-金刚烷酯的合成研究 | 第18页 |
| 1.4 2-取代-2-金刚醇的合成研究 | 第18-22页 |
| 1.4.1 2-甲基(乙基、异丙基)-2-金刚醇的合成研究 | 第19页 |
| 1.4.2 2-异丙氧甲基-2-金刚醇的合成研究 | 第19-20页 |
| 1.4.3 2-甲氧甲基-2-金刚醇的合成研究 | 第20-22页 |
| 1.5 本课题的研究意义与主要内容 | 第22-23页 |
| 第二章 实验 | 第23-29页 |
| 2.1 实验仪器及药品 | 第23-25页 |
| 2.1.1 实验仪器 | 第23页 |
| 2.1.2 实验药品 | 第23-25页 |
| 2.2 实验操作 | 第25-29页 |
| 2.2.1 甲基丙烯酸(2-取代-2-金刚烷)酯的合成 | 第25-28页 |
| 2.2.2 分析检测 | 第28-29页 |
| 第三章 结果与讨论 | 第29-59页 |
| 3.1 氯代醚的合成 | 第29-34页 |
| 3.1.1 氯甲基醚的合成 | 第29-34页 |
| 3.2 2-取代-2-金刚醇的合成 | 第34-38页 |
| 3.3 甲基丙烯酸(2-取代-2-金刚烷)酯的合成 | 第38-46页 |
| 3.4 甲基丙烯酸(2-甲氧甲基-2-金刚烷)酯合成工艺的优化 | 第46-59页 |
| 3.4.1 2-甲氧甲基-2-金刚醇合成工艺的优化 | 第46-47页 |
| 3.4.2 2-甲氧甲基-2-金刚醇新合成工艺的探讨 | 第47-53页 |
| 3.4.3 甲基丙烯酸(2-甲氧甲基-2-金刚烷)酯合成工艺的优化 | 第53-59页 |
| 第四章 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 附录 辅助说明图谱 | 第63-68页 |
