| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-26页 |
| 1.1 引言 | 第9-11页 |
| 1.2 半导体金属氧化物气体传感器 | 第11-20页 |
| 1.3 表面微滴注 | 第20-23页 |
| 1.4 用于表面微滴注的金属离子 | 第23页 |
| 1.5 本工作的选题思路及主要工作内容 | 第23-26页 |
| 2 实验部分 | 第26-30页 |
| 2.1 主要原料和试剂 | 第26页 |
| 2.2 主要实验设备 | 第26-27页 |
| 2.3 材料表征分析方法 | 第27页 |
| 2.4 乙醚敏感性能测试 | 第27-30页 |
| 3 表面微滴注修饰ZnO基材料阵列的制备与乙醚敏感性能 | 第30-45页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 实验部分 | 第30-33页 |
| 3.3 关于Mg~(2+)表面修饰ZnO膜层的表征与分析 | 第33-35页 |
| 3.4 表面微滴注ZnO基纳米材料阵列的气敏性能测试 | 第35-38页 |
| 3.5 表面微滴注ZnO基纳米材料阵列的气敏机理 | 第38-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 反应掺杂方法制备Mg-ZnO及其乙醚气敏性能 | 第45-56页 |
| 4.1 引言 | 第45-46页 |
| 4.2 实验部分 | 第46-47页 |
| 4.3 Mg~(2+)体掺杂ZnO的表征 | 第47-51页 |
| 4.4 Mg~(2+)体掺杂ZnO的气体敏感性能 | 第51-54页 |
| 4.5 表面微滴注与体掺杂制备的Mg-ZnO的气敏机理比较 | 第54-55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 全文总结与展望 | 第56-59页 |
| 5.1 主要成果 | 第56-57页 |
| 5.2 本文的创新之处 | 第57-58页 |
| 5.3 工作展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第66页 |
