| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-38页 |
| 1.1 微模具制造技术 | 第13-34页 |
| 1.1.1 LIGA和准LIGA技术 | 第13-19页 |
| 1.1.2 激光加工技术 | 第19-26页 |
| 1.1.3 微细电化学技术 | 第26-30页 |
| 1.1.4 微细电解加工技术（micro-ECM） | 第30-34页 |
| 1.2 三维金属微结构模具的叠层拟合成形工艺的提出 | 第34-35页 |
| 1.3 研究内容 | 第35-38页 |
| 第2章 微模具制备 | 第38-83页 |
| 2.1 叠层微模具制备工艺 | 第38-44页 |
| 2.1.1 叠层微模具拟合成形工艺路线 | 第40-42页 |
| 2.1.2 微结构切割过程中的金属箔弯曲变形分析 | 第42-44页 |
| 2.2 切割加工技术 | 第44-66页 |
| 2.2.1 飞秒激光加工技术 | 第44-59页 |
| 2.2.1.1 飞秒激光切割平台 | 第44-48页 |
| 2.2.1.2 飞秒激光切割实验 | 第48-51页 |
| 2.2.1.3 飞秒激光与金属作用机理研究 | 第51-59页 |
| 2.2.2 电火花线切割技术 | 第59-66页 |
| 2.2.2.1 线切割放电电压对切割质量的影响 | 第59-61页 |
| 2.2.2.2 线切割放电电流对切割质量的影响 | 第61-62页 |
| 2.2.2.3 脉冲宽度对切割质量的影响 | 第62-64页 |
| 2.2.2.4 脉冲间隔对切割质量的影响 | 第64-66页 |
| 2.3 焊接工艺 | 第66-73页 |
| 2.3.1 微细电阻滑焊工艺 | 第66-67页 |
| 2.3.2 真空热扩散焊工艺 | 第67-73页 |
| 2.3.2.1 热扩散时间对焊接质量的影响 | 第68-71页 |
| 2.3.2.2 热扩散压力对焊接质量的影响 | 第71-73页 |
| 2.4 组合工艺制备微模具 | 第73-80页 |
| 2.4.1 飞秒激光切割与微细电阻焊组合工艺制备微模具 | 第73-76页 |
| 2.4.1.1 成形系统 | 第73-74页 |
| 2.4.1.2 微模具制备 | 第74-76页 |
| 2.4.2 线切割与热扩散焊组合工艺制备微模具 | 第76-80页 |
| 2.4.2.1 制备工艺 | 第76-78页 |
| 2.4.2.2 实验材料与设备 | 第78页 |
| 2.4.2.3 微模具制备 | 第78-80页 |
| 2.5 小结 | 第80-83页 |
| 第3章 微胀形件制备 | 第83-94页 |
| 3.1 制作工艺 | 第84-86页 |
| 3.1.1 超声波塑料粉末胀形工艺 | 第84-85页 |
| 3.1.2 实验设备与材料 | 第85-86页 |
| 3.2 超声波胀形工艺研究 | 第86-91页 |
| 3.2.1 超声波功率对微成形件的影响 | 第86-87页 |
| 3.2.2 超声波压强对微成形件的影响 | 第87-88页 |
| 3.2.3 超声波作用时间对微成形件的影响 | 第88-91页 |
| 3.3 微胀形件制备 | 第91-93页 |
| 3.4 小结 | 第93-94页 |
| 第4章 超声模压成型工艺制备微小型塑件 | 第94-103页 |
| 4.1 超声塑化成型工艺 | 第95-97页 |
| 4.2 微小型塑件制备 | 第97-98页 |
| 4.3 塑化机理研究 | 第98-101页 |
| 4.3.1 摩擦生热效应 | 第99-100页 |
| 4.3.2 粘弹性热效应 | 第100-101页 |
| 4.3.3 空化效应 | 第101页 |
| 4.4 小结 | 第101-103页 |
| 第5章 总结与展望 | 第103-107页 |
| 5.1 论文总结 | 第103-105页 |
| 5.2 主要创新点 | 第105页 |
| 5.3 论文展望 | 第105-107页 |
| 参考文献 | 第107-120页 |
| 致谢 | 第120-121页 |
| 攻读博士学位期间的研究成果 | 第121-122页 |
