| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 SAW技术概述 | 第8-10页 |
| 1.1.1 SAW技术简介 | 第8页 |
| 1.1.2 SAW的发展及研究现状 | 第8-10页 |
| 1.2 印刷电子工艺概述 | 第10-15页 |
| 1.2.1 印刷电子学介绍 | 第10-11页 |
| 1.2.2 印刷电子的发展及研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3 本论文的研究意义与研究内容 | 第15-17页 |
| 1.3.1 研究意义 | 第15页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 声表面波和印刷电子技术基本理论 | 第17-41页 |
| 2.1 声表面波基本理论 | 第17-31页 |
| 2.1.1 压电效应与压电材料 | 第17-19页 |
| 2.1.2 叉指换能器 | 第19-27页 |
| 2.1.2.1 叉指换能器结构 | 第20-21页 |
| 2.1.2.2 叉指换能器工作原理和基本特性 | 第21-25页 |
| 2.1.2.3 叉指换能器的模型分类 | 第25-27页 |
| 2.1.3 声表面波滤波器 | 第27-31页 |
| 2.1.3.1 声表面波滤波器工作原理 | 第27-28页 |
| 2.1.3.2 声表面波滤波器分类 | 第28-30页 |
| 2.1.3.3 横向型SAWF原理和等效模型 | 第30-31页 |
| 2.2 印刷电子技术基础 | 第31-40页 |
| 2.2.1 印刷电子工艺种类 | 第32-33页 |
| 2.2.2 印刷电子墨水材料 | 第33-36页 |
| 2.2.3 丝网印刷工艺及实验设备介绍 | 第36-40页 |
| 2.2.3.1 丝网印刷工艺介绍 | 第36-37页 |
| 2.2.3.2 印前及印后处理工艺 | 第37-38页 |
| 2.2.3.3 实验设备及丝网印刷机参数规格 | 第38-40页 |
| 2.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 应用丝网印刷工艺制备SAW滤波器的实验研究 | 第41-56页 |
| 3.1 声表面波滤波器设计及仿真 | 第41-44页 |
| 3.1.1 声表面波滤波器参数设计 | 第41-43页 |
| 3.1.2 声表面波滤波器的仿真 | 第43-44页 |
| 3.2 实验步骤与工艺参数 | 第44-51页 |
| 3.2.1 网版的设计及制备 | 第44-46页 |
| 3.2.2 印前处理及准备工作 | 第46-47页 |
| 3.2.3 丝网印刷过程 | 第47-49页 |
| 3.2.4 印后处理 | 第49-51页 |
| 3.3 性能测试与结果分析 | 第51-55页 |
| 3.3.1 显微镜观测和导电性检测 | 第51-52页 |
| 3.3.2 滤波器电气特性测试 | 第52-55页 |
| 3.3.3 实验结果讨论与误差分析 | 第55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 SAW器件的温度传感可行性与特性实验研究 | 第56-64页 |
| 4.1 200μm的SAWF的中心频率温度特性实验 | 第56-58页 |
| 4.2 100μm的SAWF的中心频率和带宽的温度特性研究 | 第58-62页 |
| 4.2.1 输入IDT为 20P，输出IDT为 80P的温度实验 | 第59-60页 |
| 4.2.2 输入IDT为 80P，输出IDT为 20P的温度实验 | 第60-62页 |
| 4.3 实验结果分析与结论 | 第62-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 全文总结 | 第64页 |
| 5.2 前景展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
