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微波低噪声放大器毁伤机理研究和SiC薄膜的外延生长与刻蚀技术研究

摘要第5-7页
Abstract第7-9页
第一篇 微波低噪声放大器毁伤机理研究第14-151页
    第一章 绪论第15-21页
        1.1 研究背景第15-17页
            1.1.1 传统电子战面临的挑战及其对策第15-16页
            1.1.2 国内外的研究现状第16-17页
            1.1.3 论文的研究目标和研究意义第17页
        1.2 论文的主要工作与内容编排第17-19页
        1.3 论文的主要创新第19-21页
    第二章 靶目标的分析与解剖第21-33页
        2.1 靶目标的选择第21-22页
        2.2 靶目标的结构特点第22-24页
        2.3 靶目标的"前门"与"后门"耦合途径分析第24-28页
            2.3.1 "前门"耦合途径分析第24-26页
            2.3.2 "后门"耦合途径分析第26-27页
            2.3.3 毁伤信号源所需要的有效辐射功率计算第27-28页
        2.4 靶目标"前门"通道前端组成及特点第28-30页
        2.5 "前门"通道毁伤实验方法第30-32页
        2.6 本章小结第32-33页
    第三章 注入式毁伤实验平台的建立和实验步骤第33-49页
        3.1 实验效应物和实验方案第33-35页
        3.2 实验平台第35-39页
        3.3 微波低噪声放大器毁伤实验分类、目的与步骤第39-42页
        3.4 微波低噪声放大器的解剖、电路反求和分析第42-48页
            3.4.1 ERA-5放大器解剖、电路提取与分析第42-44页
            3.4.2 ERA-3放大器解剖、电路提取与分析第44-45页
            3.4.3 A-放大器解剖、电路提取与分析第45-47页
            3.4.4 E5B放大器解剖、电路提取与分析第47-48页
        3.5 本章小结第48-49页
    第四章 不同形式信号注入放大器的毁伤能力分析第49-69页
        4.1 基础理论第49-52页
            4.1.1 信号的能量、功率和功率谱的定义第49-50页
            4.1.2 傅立叶变换第50-51页
            4.1.3 信号能量、功率、功率谱(功率密度)与频谱函数F(jω)的关系第51-52页
        4.2 常见脉冲信号一个周期内的平均功率和能量第52-55页
            4.2.1 方波信号输入第52页
            4.2.2 正弦波信号输入第52-53页
            4.2.3 锯齿波输入第53页
            4.2.4 调制矩形波第53-54页
            4.2.5 高斯波第54页
            4.2.6 调制高斯波第54-55页
            4.2.7 离散频率的扫频波第55页
        4.3 常见脉冲波形的功率谱计算第55-62页
            4.3.1 矩形脉冲第56-58页
            4.3.2 半波余弦第58-59页
            4.3.3 三角脉冲第59-62页
        4.4 不同形式信号注入放大器的毁伤能力分析第62-67页
        4.5 本章小结第67-69页
    第五章 微波低噪声放大器的毁伤实验及毁伤机理研究第69-109页
        5.1 连续波注入毁伤实验第69-71页
        5.2 单脉冲注入毁伤实验第71-87页
            5.2.1 ERA-5放大器在三种载频下的单脉冲注入毁伤实验第72-77页
            5.2.2 ERA-3放大器在三种载频下的单脉冲注入毁伤实验第77-85页
            5.2.3 A-放大器在三种载频下的单脉冲注入毁伤实验第85-87页
        5.3 连续脉冲(脉冲串)注入毁伤实验第87-94页
        5.4 脉冲串注入时的脉冲个数计数毁伤实验第94-103页
        5.5 一些特殊的专项实验第103-107页
        5.6 本章小结第107-109页
    第六章 微波低噪声放大器毁伤实验结果的分析与讨论第109-129页
        6.1 连续波和单脉冲注入毁伤实验对毁伤信号样式的借鉴第109-112页
        6.2 不同注入信号参数和信号样式下的毁伤实验结果对比讨论第112-124页
        6.3 ERA-5放大器偏置状态、信号注入端对与毁伤能量之间的关系第124-126页
        6.4 脉宽对GaAs微波低噪声放大器功能毁伤的影响第126-128页
        6.5 本章小结第128-129页
    第七章 微波低噪声放大器的初步仿真第129-149页
        7.1 仿真软件和器件模型第130页
        7.2 微波低噪声放大器的仿真与分析第130-146页
            7.2.1 A-放大器的仿真与分析第130-135页
            7.2.2 ERA-3放大器的仿真与分析第135-137页
            7.2.3 ERA-5放大器的仿真与分析第137-146页
        7.3 微波低噪声放大器仿真存在的问题与目标第146-148页
        7.4 本章小结第148-149页
    第八章 第一篇结束语第149-151页
第二篇 SiC薄膜的外延生长与刻蚀技术研究第151-202页
    第九章 绪论第152-165页
        9.1 SiC晶体结构与材料特性第152-157页
            9.1.1 SiC晶体结构第152-155页
            9.1.2 SiC材料特性与应用领域第155-157页
        9.2 SiC晶体生长与刻蚀技术概要第157-163页
            9.2.1 高温升华法制备SiC晶体第158-159页
            9.2.2 液相外延法制备SiC晶体第159-160页
            9.2.3 化学气相淀积(CVD)技术制备SiC材料第160-161页
            9.2.4 SiC材料的干法刻蚀技术第161-163页
        9.3 本论文的主要工作与内容编排第163-165页
    第十章 SiC薄膜材料的异质外延生长第165-180页
        10.1 外延系统与工艺方案第166-168页
        10.2 "碳化缓冲层"技术第168-170页
        10.3 外延生长温度对SiC薄膜微结构的影响研究第170-174页
        10.4 外延层的化学组分研究第174-177页
        10.5 Si基外延β-SiC薄膜的生长机制第177-178页
        10.6 本章小结第178-180页
    第十一章 Si基外延β-SiC薄膜的等离子体刻蚀技术研究第180-200页
        11.1 等离子体刻蚀装置及工作原理第180-183页
        11.2 β-SiC薄膜的等离子体刻蚀技术研究第183-199页
            11.2.1 SiC薄膜的CF_4和CF_4+O_2等离子体刻蚀研究第183-189页
            11.2.2 SiC薄膜的SF_6和SF_6+O_2等离子体刻蚀研究第189-192页
            11.2.3 SiC薄膜在不同刻蚀气体中的等离子体刻蚀结果比较第192-195页
            11.2.4 SiC薄膜的等离子体图形刻蚀研究第195-199页
        11.3 本章小结第199-200页
    第十二章 第二篇结束语第200-202页
致谢第202-203页
参考文献第203-216页
攻读博士学位期间主持(参加)的科研项目和研究成果第216-219页

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