超光滑表面特征光学检测的实验研究
摘要 | 第5-7页 |
Abstract | 第7-8页 |
1 绪论 | 第11-19页 |
1.1 研究背景和课题意义 | 第11-12页 |
1.2 表面粗糙度测量方法的研究现状 | 第12-17页 |
1.2.1 接触式测量法 | 第12-13页 |
1.2.2 非接触式测量法 | 第13-17页 |
1.2.2.1 光学测量法 | 第13-16页 |
1.2.2.2 在线测量方法 | 第16-17页 |
1.3 课题的研究内容与工作安排 | 第17-18页 |
1.4 本章小结 | 第18-19页 |
2 多波长光纤传感器的理论分析与设计 | 第19-29页 |
2.1 引言 | 第19页 |
2.2 多波长光纤传感器的理论模型 | 第19-26页 |
2.2.1 单光纤对的光强调制函数 | 第19-22页 |
2.2.2 光纤束的光强调制函数 | 第22-24页 |
2.2.3 粗糙表面的光强调制函数 | 第24-25页 |
2.2.4 多波长光纤表面粗糙度传感器的理论 | 第25-26页 |
2.3 多波长光纤表面粗糙度传感器的设计 | 第26-28页 |
2.4 本章小结 | 第28-29页 |
3 多波长光纤传感器测量表面粗糙度的实验研究 | 第29-40页 |
3.1 引言 | 第29页 |
3.2 多波长光纤传感器的测量系统 | 第29-31页 |
3.2.1 测量装置 | 第29-31页 |
3.2.2 测量原理 | 第31页 |
3.3 表面粗糙度的理论模拟与实验研究 | 第31-36页 |
3.3.1 粗糙表面的特征提取 | 第32-34页 |
3.3.2 最佳测量距离 | 第34-35页 |
3.3.3 测量系统的误差分析 | 第35-36页 |
3.4 表面粗糙度的测量 | 第36-39页 |
3.4.1 光源对测量范围的影响 | 第36-37页 |
3.4.2 粗糙度测量的误差分析 | 第37-39页 |
3.5 本章小结 | 第39-40页 |
4 基于支持向量机MWFS表面粗糙度的测量 | 第40-49页 |
4.1 支持向量机的基本理论 | 第40-43页 |
4.1.1 支持向量回归机 | 第40-43页 |
4.1.2 核函数 | 第43页 |
4.2 实验结果与分析 | 第43-48页 |
4.2.1 取值范围 | 第45-46页 |
4.2.2 SVR表面粗糙度的预测 | 第46-48页 |
4.3 本章小结 | 第48-49页 |
5 表面粗糙度微分散射测量法的研究 | 第49-62页 |
5.1 引言 | 第49页 |
5.2 微分散射测量法的理论 | 第49-53页 |
5.2.1 粗糙面的散射理论 | 第49-52页 |
5.2.2 表面粗糙度特征值 | 第52-53页 |
5.3 微分散射法测量粗糙度的实验研究 | 第53-61页 |
5.3.1 实验装置与测量原理 | 第53-57页 |
5.3.2 实验结果与分析 | 第57-61页 |
5.3.2.1 图像处理 | 第57-58页 |
5.3.2.2 表面粗糙度的特征提取 | 第58-60页 |
5.3.2.3 结果与分析 | 第60-61页 |
5.4 本章小结 | 第61-62页 |
6 总结与展望 | 第62-64页 |
6.1 总结 | 第62页 |
6.2 展望 | 第62-64页 |
参考文献 | 第64-69页 |
致谢 | 第69-70页 |
攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第70-71页 |