| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 课题来源及研究目的和意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.1 光刻机系统结构与控制策略研究动态 | 第12-15页 |
| 1.2.2 迭代学习控制发展现状 | 第15-16页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 光刻机精密运动平台结构及功能 | 第18-26页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 扫描光刻机整体结构及功能介绍 | 第18-19页 |
| 2.3 工件台结构和功能分析 | 第19-24页 |
| 2.3.1 宏动电机功能分析 | 第19-21页 |
| 2.3.2 步进扫描曝光运动分析 | 第21-23页 |
| 2.3.3 旋转换台运动分析 | 第23-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-26页 |
| 第3章 高阶闭环迭代学习控制策略 | 第26-36页 |
| 3.1 引言 | 第26-27页 |
| 3.2 迭代学习控制可行性分析 | 第27-28页 |
| 3.2.1 可重复性分析 | 第27-28页 |
| 3.2.2 初始条件分析 | 第28页 |
| 3.3 闭环PID迭代学习控制 | 第28-31页 |
| 3.3.1 闭环PID迭代学习控制学习律 | 第28-29页 |
| 3.3.2 闭环PID迭代学习控制仿真 | 第29-31页 |
| 3.4 高阶闭环迭代学习控制 | 第31-35页 |
| 3.4.1 高阶闭环迭代学习控制学习律 | 第31-32页 |
| 3.4.2 高阶闭环迭代学习控制仿真 | 第32-33页 |
| 3.4.3 高阶闭环迭代学习对扰动抑制能力仿真 | 第33-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 带遗忘因子的高阶闭环迭代学习控制 | 第36-47页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 带遗忘因子的迭代学习控制 | 第36-38页 |
| 4.2.1 遗忘因子高阶闭环迭代学习控制学习律 | 第36-37页 |
| 4.2.2 遗忘因子系统自主调节 | 第37-38页 |
| 4.3 带遗忘因子的高阶闭环迭代学习控制仿真 | 第38-43页 |
| 4.3.1 未施加非周期干扰下系统仿真 | 第38-40页 |
| 4.3.2 非周期性力扰动下系统仿真 | 第40-42页 |
| 4.3.3 非周期性测量信号扰动下系统仿真 | 第42-43页 |
| 4.4 改进型遗忘因子高阶闭环迭代学习控制 | 第43-46页 |
| 4.4.1 遗忘因子高阶闭环迭代学习扰动抑制改善 | 第43-44页 |
| 4.4.2 改进型遗忘因子高阶闭环迭代学习扰动抑制仿真 | 第44-46页 |
| 4.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 迭代学习控制策略的实验设计与分析 | 第47-68页 |
| 5.1 引言 | 第47页 |
| 5.2 基于迭代学习的步进扫描曝光控制设计 | 第47-55页 |
| 5.2.1 基于迭代学习的X向电机步进控制 | 第47-49页 |
| 5.2.2 基于迭代学习的Y向电机同步控制 | 第49-52页 |
| 5.2.3 步进扫描曝光控制程序设计 | 第52-55页 |
| 5.3 基于迭代学习的旋转换台控制设计 | 第55-59页 |
| 5.3.1 基于迭代学习的旋转换台控制 | 第55-58页 |
| 5.3.2 旋转换台控制程序设计 | 第58-59页 |
| 5.4 迭代学习控制实验结果分析 | 第59-67页 |
| 5.4.1 X向电机步进运动实验分析 | 第59-61页 |
| 5.4.2 Y向电机同步运动实验分析 | 第61-64页 |
| 5.4.3 旋转换台运动实验分析 | 第64-67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |