| 摘要 | 第7-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第14-22页 |
| 1.1 气敏传感器简介 | 第14-16页 |
| 1.1.1 气敏传感器的作用与意义 | 第14页 |
| 1.1.2 气敏传感器分类与特点 | 第14-15页 |
| 1.1.3 半导体气敏传感器 | 第15-16页 |
| 1.2 二氧化锡气敏传感器 | 第16-20页 |
| 1.2.1 二氧化锡简介 | 第16-17页 |
| 1.2.2 二氧化锡气敏传感器简介 | 第17页 |
| 1.2.3 二氧化锡气敏传感器机理 | 第17-19页 |
| 1.2.4 二氧化锡气敏传感器研究现状 | 第19-20页 |
| 1.3 本文的研究方向及研究意义 | 第20-22页 |
| 1.3.1 本文的研究方向 | 第20页 |
| 1.3.2 本文的研究意义 | 第20-22页 |
| 第二章 氯化钯/石墨烯/二氧化锡复合材料气敏传感器 | 第22-37页 |
| 2.1 氯化钯/石墨烯/二氧化锡复合材料气敏传感器制备 | 第22-29页 |
| 2.1.1 传感器设计 | 第22页 |
| 2.1.2 二氧化锡制备与表征 | 第22-25页 |
| 2.1.3 还原氧化石墨烯制备 | 第25-27页 |
| 2.1.4 传感器制备 | 第27-29页 |
| 2.2 乙醇气敏特性测试系统 | 第29-31页 |
| 2.2.1 测试系统简介 | 第29-30页 |
| 2.2.2 气敏传感器参数设置 | 第30-31页 |
| 2.3 传感器对乙醇气敏特性测试 | 第31-34页 |
| 2.4 掺杂对传感器的影响及机理 | 第34-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 二氧化锡薄膜气敏传感器 | 第37-46页 |
| 3.1 二氧化锡薄膜气敏传感器结构 | 第37-38页 |
| 3.2 微加热板制备及测试 | 第38-40页 |
| 3.2.1 微加热板温度仿真 | 第38-39页 |
| 3.2.2 微加热板制备 | 第39页 |
| 3.2.3 微加热板温度与加热电流关系 | 第39-40页 |
| 3.3 二氧化锡薄膜气敏传感器制备及表征 | 第40-43页 |
| 3.3.1 二氧化锡薄膜气敏传感器制备 | 第40-41页 |
| 3.3.2 二氧化锡薄膜表征 | 第41-43页 |
| 3.4 传感器对乙醇气敏特性测试 | 第43-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 二氧化锡薄膜异质结气敏传感器 | 第46-57页 |
| 4.1 异质结结构 | 第46-47页 |
| 4.1.1 异质结结构简介 | 第46页 |
| 4.1.2 异质结结构机理 | 第46-47页 |
| 4.2 二氧化锡薄膜异质结气敏传感器制备及表征 | 第47-50页 |
| 4.2.1 异质结结构制备 | 第47-48页 |
| 4.2.2 异质结结构表征 | 第48-50页 |
| 4.3 薄膜异质结气敏传感器对乙醇气敏特性测试 | 第50-55页 |
| 4.3.1 薄膜异质结气敏传感器灵敏度对比 | 第50-52页 |
| 4.3.2 5nm WO_3/100 nm SnO_2气敏传感器气敏特性 | 第52-53页 |
| 4.3.3 5nm NiO/100 nm SnO_2气敏传感器气敏特性 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 研究总结 | 第57-58页 |
| 5.2 展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及专利目录 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
