| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-33页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| 1.2 微加工技术的研究现状 | 第15-21页 |
| 1.2.1 模板式微加工技术研究现状 | 第15-18页 |
| 1.2.2 非模板式微加工技术研究现状 | 第18-21页 |
| 1.3 基于微管沉积的微加工技术的研究现状 | 第21-30页 |
| 1.3.1 基于化学反应的微管沉积技术研究现状 | 第22-25页 |
| 1.3.2 基于物理原理的微管沉积技术研究现状 | 第25-28页 |
| 1.3.3 基于微管沉积微加工技术的应用 | 第28-30页 |
| 1.4 研究现状简析 | 第30-31页 |
| 1.5 课题来源和本文的主要研究内容 | 第31-33页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第31页 |
| 1.5.2 本文主要研究内容 | 第31-33页 |
| 第2章 流体分配微加工系统的构建和微加工过程的理论分析 | 第33-54页 |
| 2.1 引言 | 第33页 |
| 2.2 机器人化流体分配微加工的基本原理 | 第33-34页 |
| 2.3 机器人化流体分配微加工系统的构建 | 第34-40页 |
| 2.3.1 机器人化流体分配微加工系统的构成 | 第34-37页 |
| 2.3.2 微米级尖端微管的制作 | 第37-38页 |
| 2.3.3 机器人化流体分配微加工的策略 | 第38-40页 |
| 2.4 功能性流体在微管中的流动模型 | 第40-47页 |
| 2.4.1 常见功能性流体的分类 | 第40页 |
| 2.4.2 牛顿型流体在微管中的流动模型 | 第40-44页 |
| 2.4.3 非牛顿型流体在微管中的流动模型 | 第44-47页 |
| 2.5 微管尖端到基底流体传输模型 | 第47-53页 |
| 2.5.1 基本假设 | 第48页 |
| 2.5.2 杨-拉普拉斯方程和液桥力计算 | 第48-50页 |
| 2.5.3 边界条件 | 第50-51页 |
| 2.5.4 杨-拉普拉斯方程的数值解 | 第51-53页 |
| 2.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 第3章 基于牛顿型流体的微加工方法及其应用研究 | 第54-77页 |
| 3.1 引言 | 第54页 |
| 3.2 二氧化硅直写式刻蚀方法 | 第54-64页 |
| 3.2.1 二氧化硅直写式刻蚀的原理 | 第55-56页 |
| 3.2.2 工作参数对加工特征形状和大小的影响 | 第56-61页 |
| 3.2.3 二氧化硅微图案的应用 | 第61-64页 |
| 3.3 球面型和圆柱面型微透镜制造方法 | 第64-76页 |
| 3.3.1 球面型和圆柱面型微透镜的制造原理 | 第65-67页 |
| 3.3.2 微透镜及其阵列的表征 | 第67-71页 |
| 3.3.3 工作参数对微透镜尺寸的影响 | 第71-76页 |
| 3.4 本章小结 | 第76-77页 |
| 第4章 三维聚合物微结构加工方法及其应用研究 | 第77-94页 |
| 4.1 引言 | 第77页 |
| 4.2 三维聚合物微结构加工方法的原理 | 第77-79页 |
| 4.3 三维聚合物微结构加工方法的模式 | 第79-83页 |
| 4.3.1“点融合”模式制造点型三维结构 | 第79-81页 |
| 4.3.2“点连点”模式制造线型三维结构 | 第81-83页 |
| 4.4 三维微结构形貌的调节 | 第83-88页 |
| 4.4.1 液桥体积和预先固定图案 | 第83-85页 |
| 4.4.2 流体与基底表面之间的浸润性 | 第85-87页 |
| 4.4.3 预先固定特征点的相对大小 | 第87-88页 |
| 4.5 在微流控和光学领域的应用 | 第88-93页 |
| 4.5.1 铸造圆形横截面微流控沟道结构 | 第88-89页 |
| 4.5.2 圆柱面型微透镜阵列的制造 | 第89-91页 |
| 4.5.3 在光纤端面原位制造类半椭圆面型微透镜 | 第91-93页 |
| 4.6 本章小结 | 第93-94页 |
| 第5章 基于粘弹性型流体的微加工方法及其应用研究 | 第94-117页 |
| 5.1 引言 | 第94页 |
| 5.2 快速成型圆型横截面微流控沟道的方法 | 第94-109页 |
| 5.2.1 快速成型圆型横截面微流控沟道的原理 | 第95-98页 |
| 5.2.2 工作参数对圆型横截面结构的影响 | 第98-105页 |
| 5.2.3 基于“液体绳绕”效应直接制造曲线型微沟道的方法 | 第105-106页 |
| 5.2.4 快速成型微流控沟道方法的分辨率和应用 | 第106-109页 |
| 5.3 薄膜微图案直写式加工方法 | 第109-116页 |
| 5.3.1 薄膜微图案直写式加工的原理 | 第109-111页 |
| 5.3.2 工作参数对薄膜微图案直写式加工的影响 | 第111-114页 |
| 5.3.3 薄膜微图案直写式加工方法的应用 | 第114-116页 |
| 5.4 本章小结 | 第116-117页 |
| 结论 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-132页 |
| 附录 | 第132-135页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第135-137页 |
| 致谢 | 第137-138页 |
| 个人简历 | 第138页 |