| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-13页 |
| 第二章 文献综述 | 第13-29页 |
| 2.1 整流天线太阳电池 | 第13-17页 |
| 2.1.1 整流天线太阳电池的结构 | 第13-14页 |
| 2.1.2 整流天线太阳电池发展历程 | 第14-17页 |
| 2.2 MIM隧穿二极管 | 第17-28页 |
| 2.2.1 MIM隧穿二极管的工作原理 | 第17-18页 |
| 2.2.2 MIM二极管的性能指标 | 第18-19页 |
| 2.2.3 MIM二极管和天线间的耦合 | 第19-21页 |
| 2.2.4 MIM二极管的制备 | 第21-28页 |
| 2.3 本文的研究意义和内容 | 第28-29页 |
| 第三章 实验设备 | 第29-33页 |
| 3.1 制备设备 | 第29-30页 |
| 3.1.1 热蒸发 | 第29页 |
| 3.1.2 直流磁控溅射 | 第29页 |
| 3.1.3 原子层沉积 | 第29-30页 |
| 3.1.4 反应离子刻蚀 | 第30页 |
| 3.1.5 电化学沉积 | 第30页 |
| 3.1.6 热处理炉 | 第30页 |
| 3.2 表征设备 | 第30-33页 |
| 3.2.1 原子力显微镜 | 第30-31页 |
| 3.2.2 扫描电子显微镜 | 第31页 |
| 3.2.3 透射电子显微镜 | 第31页 |
| 3.2.4 半导体参数分析仪 | 第31-33页 |
| 第四章 MIM隧穿二极管电学性能的研究 | 第33-45页 |
| 4.1 引言 | 第33页 |
| 4.2 实验 | 第33-34页 |
| 4.2.1 MIM二极管的制备 | 第33-34页 |
| 4.2.2 MIM二极管的电学性能表征 | 第34页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第34-44页 |
| 4.3.1 绝缘层制备工艺对MIM二极管电学性能的影响 | 第34-37页 |
| 4.3.2 金属功函数差对MIM二极管电学性能的影响 | 第37-41页 |
| 4.3.3 绝缘层厚度对MIM二极管电学性能的影响 | 第41-44页 |
| 4.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 MIIM二极管相对于MIM二极管的电学性能增强作用 | 第45-55页 |
| 5.1 引言 | 第45-46页 |
| 5.2 实验 | 第46页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第46-53页 |
| 5.3.1 绝缘层材料对MIM二极管电学性能的影响 | 第46-49页 |
| 5.3.2 双绝缘层对MIM二极管电学性能的增强作用 | 第49-53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第六章 高频Ni-NiO-Ag MIM二极管的制备及表征 | 第55-63页 |
| 6.1 引言 | 第55页 |
| 6.2 实验 | 第55-57页 |
| 6.2.1 Ni-NiO-Ag MIM二极管的制备 | 第55-57页 |
| 6.2.2 Ni-NiO-Ag MIM二极管的电学性能测试 | 第57页 |
| 6.3 结果与讨论 | 第57-61页 |
| 6.3.1 Ni-NiO-Ag MIM二极管的形貌与结构表征 | 第57-59页 |
| 6.3.2 Ni-NiO-Ag MIM二极管的电学性能表征 | 第59-61页 |
| 6.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 第七章 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 个人简历 | 第73-75页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第75页 |
