| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第14-29页 |
| 1.1 红外探测器的发展历史 | 第14-16页 |
| 1.2 量子级联探测器 | 第16-19页 |
| 1.3 器件制备工艺流程 | 第19-21页 |
| 1.3.1 单元器件工艺 | 第19页 |
| 1.3.2 焦平面阵列器件工艺 | 第19-21页 |
| 1.4 探测器性能描述 | 第21-24页 |
| 1.4.1 光谱响应 | 第21页 |
| 1.4.2 黑体响应率 | 第21-22页 |
| 1.4.3 噪声 | 第22页 |
| 1.4.4 探测率 | 第22-24页 |
| 1.5 本论文的工作 | 第24-26页 |
| 参考文献 | 第26-29页 |
| 第二章 等离激元微腔量子级联探测器 | 第29-54页 |
| 2.1 等离激元微腔研究现状 | 第29-30页 |
| 2.2 等离激元微腔电场模式分析 | 第30-33页 |
| 2.3 等离激元微腔结构对量子级联探测器响应率的影响 | 第33-41页 |
| 2.3.1 本节摘要 | 第33-35页 |
| 2.3.2 器件设计 | 第35页 |
| 2.3.3 仿真结果与讨论 | 第35-37页 |
| 2.3.4 实验结果与讨论 | 第37-41页 |
| 2.4 基于等离激元微腔的中波-长波双色量子级联探测器研究 | 第41-46页 |
| 2.4.1 本节摘要 | 第41-42页 |
| 2.4.2 器件设计 | 第42-43页 |
| 2.4.3 仿真结果与讨论 | 第43-46页 |
| 2.5 基于准一维金属光栅的等离激元微腔量子级联探测器的研究 | 第46-52页 |
| 2.5.1 本节摘要 | 第46页 |
| 2.5.2 器件设计 | 第46-47页 |
| 2.5.3 仿真结果与讨论 | 第47-52页 |
| 2.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-54页 |
| 第三章 宽带响应量子级联探测器 | 第54-74页 |
| 3.1 宽带响应量子级联探测器现状 | 第54-55页 |
| 3.2 宽带响应量子级联探测器的设计与实验结果 | 第55-67页 |
| 3.2.1 双阱吸收宽带响应量子级联探测器 | 第55-61页 |
| 3.2.2 微带吸收宽带响应量子级联探测器 | 第61-63页 |
| 3.2.3 低势垒宽带响应量子级联探测器 | 第63-67页 |
| 3.3 片上光谱仪应用 | 第67-72页 |
| 3.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-74页 |
| 第四章 高响应率量子级联探测器 | 第74-83页 |
| 4.1 量子级联探测器各材料体系及对应的研究进展 | 第74-75页 |
| 4.2 GaAs材料体系甚长波高响应率量子级联探测器 | 第75-78页 |
| 4.3 GaAs材料体系16.3 μm甚长波量子级联探测器 | 第78-81页 |
| 4.4 本章小结 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-83页 |
| 第五章 量子级联探测器噪声研究 | 第83-98页 |
| 5.1 量子级联探测器热跃迁主要成分分析 | 第83-89页 |
| 5.2 长波低噪声量子级联探测器 | 第89-92页 |
| 5.3 量子级联探测器光谱噪声研究 | 第92-96页 |
| 5.4 本章小结 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-98页 |
| 第六章 总结和展望 | 第98-102页 |
| 6.1 总结 | 第98-99页 |
| 6.2 展望 | 第99-102页 |
| 攻读博士学位期间的学术成果 | 第102-104页 |
| 致谢 | 第104-105页 |
