| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第9页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第9-17页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 实验装置及离化实验 | 第18-32页 |
| ·实验装置的设计 | 第18-23页 |
| ·离化实验 | 第23-24页 |
| ·工艺参数对放电过程的影响规律 | 第24-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 采用离子流探针对感应耦合等离子体的诊断 | 第32-42页 |
| ·探针的诊断系统 | 第32-36页 |
| ·感应耦合等离子体径向参数的变化规律 | 第36-40页 |
| ·感应耦合等离子体轴向参数的变化 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 采用发射光谱对感应耦合等离子体的诊断 | 第42-60页 |
| ·原子发射光谱介绍 | 第42-45页 |
| ·放电参数对等离子体发射光谱的影响 | 第45-50页 |
| ·发射光谱的轴向分布 | 第50-52页 |
| ·等离子体激发温度及其测量 | 第52-55页 |
| ·谱线轮廓 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 致谢 | 第67页 |