2kA高功率脉冲磁控溅射电源研制及Cr-DLC薄膜制备
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题背景及意义 | 第9-10页 |
| ·磁控溅射 | 第10页 |
| ·高功率脉冲磁控溅射（HPPMS） | 第10-11页 |
| ·高功率脉冲磁控溅射电源 | 第11-12页 |
| ·类金刚石薄膜 | 第12-15页 |
| ·DLC 薄膜成分和结构 | 第12-13页 |
| ·DLC 薄膜制备方法 | 第13-14页 |
| ·DLC 薄膜存在的问题和解决方法 | 第14-15页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 试验材料与方法 | 第16-22页 |
| ·试验材料及试样制备 | 第16页 |
| ·试验材料 | 第16页 |
| ·试样预处理 | 第16页 |
| ·试验设备及试验流程 | 第16-19页 |
| ·试验设备 | 第16-17页 |
| ·试验流程 | 第17-19页 |
| ·薄膜分析方法 | 第19-22页 |
| ·薄膜微观结构分析方法 | 第19-20页 |
| ·薄膜性能测试方法 | 第20-22页 |
| 第3章 2kA 高功率脉冲磁控溅射电源研制 | 第22-36页 |
| ·电源整体方案设计 | 第22-23页 |
| ·电源仿真设计 | 第23-25页 |
| ·直流输出关键部分仿真 | 第24页 |
| ·脉冲部分仿真分析 | 第24-25页 |
| ·主电路设计 | 第25-30页 |
| ·整流滤波部分设计 | 第25-26页 |
| ·DC/DC 逆变桥设计 | 第26-27页 |
| ·脉冲部分设计 | 第27-30页 |
| ·保护电路设计 | 第30-31页 |
| ·IGBT 吸收电路设计 | 第30-31页 |
| ·灭弧保护电路设计 | 第31页 |
| ·电源测试 | 第31-32页 |
| ·电源等离子体负载测试及放电特性研究 | 第32-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 Cr-DLC 薄膜制备及微观结构 | 第36-47页 |
| ·Cr-DLC 薄膜表面形貌和截面形貌 | 第36-40页 |
| ·Cr-DLC 薄膜表面形貌 | 第36-39页 |
| ·Cr-DLC 薄膜截面形貌 | 第39-40页 |
| ·Cr-DLC 薄膜XRD 相结构 | 第40-41页 |
| ·Cr-DLC 薄膜Raman 光谱 | 第41-44页 |
| ·Cr-DLC 薄膜元素成分及化学态 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 Cr-DLC 薄膜性能 | 第47-60页 |
| ·薄膜与基体结合力 | 第47-48页 |
| ·薄膜硬度 | 第48-50页 |
| ·Cr-DLC 薄膜的耐磨性 | 第50-56页 |
| ·C_2H_2 流量影响 | 第52-53页 |
| ·不同复合直流对Cr-DLC 薄膜摩擦性能影响 | 第53-54页 |
| ·不同偏压对Cr-DLC 薄膜摩擦性能影响 | 第54-55页 |
| ·不同频率脉宽对Cr-DLC 薄膜摩擦性能影响 | 第55-56页 |
| ·薄膜电化学腐蚀性能 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
