| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-40页 |
| ·高反射曲面光照模型及测量难点 | 第12-14页 |
| ·高反射曲面三维形貌测量方法综述 | 第14-29页 |
| ·高反射曲面三维形貌测量方法分类 | 第14页 |
| ·接触式测量方法 | 第14-16页 |
| ·光学非接触测量方法 | 第16-27页 |
| ·扫描显微镜测量法 | 第27-28页 |
| ·高反射曲面三维形貌测量方法比较 | 第28-29页 |
| ·光栅相位偏折高反射曲面三维形貌测量发展现状及热点问题 | 第29-34页 |
| ·白光扫描干涉测量原理及研究现状 | 第34-36页 |
| ·多传感器融合测量方法 | 第36-37页 |
| ·本课题的提出及各章节安排 | 第37-40页 |
| 第二章 超精密加工高反射曲面光学非接触三维形貌测量系统设计 | 第40-60页 |
| ·测量系统总体设计方案 | 第40-42页 |
| ·光栅相位偏折测量子系统设计 | 第42-46页 |
| ·光栅显示设备 | 第42-44页 |
| ·图像采集设备 | 第44-46页 |
| ·白光扫描干涉测量子系统设计 | 第46-52页 |
| ·白光干涉测量扫描方式选择 | 第46-48页 |
| ·显微干涉物镜 | 第48页 |
| ·微位移机构 | 第48-50页 |
| ·光学成像系统 | 第50-51页 |
| ·白光光源 | 第51-52页 |
| ·图像采集装置 | 第52页 |
| ·精密运动控制系统设计 | 第52-54页 |
| ·超精密加工高反射曲面三维形貌测量系统测量精度分析 | 第54-59页 |
| ·光栅相位偏折测量子系统测量精度分析 | 第54-57页 |
| ·白光扫描干涉测量系统测量精度分析 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第三章 光栅编码及相位展开方法研究 | 第60-78页 |
| ·光栅的编码方法研究 | 第60-68页 |
| ·光栅编码方法综述 | 第60-63页 |
| ·复合光栅编码方法 | 第63-68页 |
| ·相位展开算法研究 | 第68-75页 |
| ·相位展开的数学描述 | 第69-70页 |
| ·空域相位展开算法 | 第70-72页 |
| ·时域相位展开算法 | 第72-73页 |
| ·中心摄动展开算法 | 第73-75页 |
| ·基于复合光栅编码、摄动相位展开的快速相位提取方法 | 第75-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第四章 超精密加工高反射曲面光学非接触三维形貌测量系统标定 | 第78-101页 |
| ·CCD 摄像机内参数的快速、高精度标定 | 第78-87页 |
| ·摄像机标定模型 | 第79-83页 |
| ·基于运动靶标的摄像机内参数标定方法 | 第83-84页 |
| ·光斑中心位置提取算法 | 第84-86页 |
| ·实验验证 | 第86-87页 |
| ·白光扫描干涉测量子系统现场标定 | 第87-89页 |
| ·超精密加工高反射曲面三维形貌测量系统整体标定方案 | 第89-94页 |
| ·超精密加工高反射曲面三维形貌测量系统标定模型 | 第89-90页 |
| ·光栅相位偏折测量子系统物空间下位置标定 | 第90-91页 |
| ·白光扫描干涉测量子系统物空间下位置标定 | 第91-94页 |
| ·基于虚拟参考面方法的参考相位的获取 | 第94-100页 |
| ·标记棋盘格图像的生成方法 | 第94-95页 |
| ·基于虚拟参考面方法的参考相位测量模型 | 第95-96页 |
| ·参考相位的计算方法 | 第96-97页 |
| ·实验验证 | 第97-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 第五章 光栅相位偏折超精密加工高反射曲面三维形貌测量 | 第101-122页 |
| ·光栅相位偏折高反射曲面三维形貌测量模型 | 第101-107页 |
| ·基于迭代的光栅相位偏折高反射曲面三维形貌测量模型 | 第101-106页 |
| ·光栅相位偏折高反射曲面三维形貌重建模型参数计算 | 第106-107页 |
| ·基于梯度信息的被测物体表面形貌重建方法 | 第107-114页 |
| ·局部积分技术 | 第108页 |
| ·全局积分技术 | 第108-111页 |
| ·三维重建算法仿真分析 | 第111-114页 |
| ·基于区域波前重构和路径积分的高反射曲面快速三维重建算法 | 第114-121页 |
| ·基于编码光栅条纹相移特性的轮廓提取算法 | 第114-117页 |
| ·与路径积分法相结合的区域波前重构算法 | 第117-118页 |
| ·实验验证 | 第118-121页 |
| ·本章小结 | 第121-122页 |
| 第六章 白光扫描干涉超精密加工高反射曲面三维形貌测量 | 第122-147页 |
| ·多目标动态系统的路径规划 | 第122-124页 |
| ·白光扫描干涉测量原理 | 第124-128页 |
| ·白光干涉的典型特性 | 第124-125页 |
| ·双光路扫描干涉测量原理 | 第125-127页 |
| ·移相干涉测量原理 | 第127-128页 |
| ·白光垂直扫描干涉测量原理 | 第128页 |
| ·白光扫描干涉峰值提取算法 | 第128-138页 |
| ·重心法 | 第129页 |
| ·包络曲线拟合算法 | 第129-132页 |
| ·空间频域法 | 第132-133页 |
| ·相移算法 | 第133-136页 |
| ·算法比较 | 第136-138页 |
| ·白光扫描干涉超精密加工高反射曲面三维形貌测量仿真分析 | 第138-146页 |
| ·白光干涉条纹的生成 | 第138-139页 |
| ·系统参数对测量精度的影响 | 第139-140页 |
| ·噪声和微位移机构的误差对测量精度的影响 | 第140-143页 |
| ·白光扫描干涉测量三维仿真 | 第143-146页 |
| ·本章小结 | 第146-147页 |
| 第七章 超精密加工高反射曲面非接触三维形貌测量实验 | 第147-165页 |
| ·台阶三维形貌测量 | 第147-156页 |
| ·9mm 台阶三维形貌测量 | 第147-153页 |
| ·0.5mm 台阶三维形貌测量 | 第153-154页 |
| ·7mm 和 9mm 组合台阶三维形貌测量 | 第154-156页 |
| ·150mm 超精密加工平面镜三维形貌测量 | 第156-158页 |
| ·超精密加工光学双曲面三维形貌测量 | 第158-163页 |
| ·本章小结 | 第163-165页 |
| 第八章 总结与展望 | 第165-169页 |
| ·全文总结 | 第165-167页 |
| ·创新点 | 第167-168页 |
| ·工作展望 | 第168-169页 |
| 参考文献 | 第169-185页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第185-186页 |
| 致谢 | 第186页 |
