| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| CONTENTS | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-54页 |
| ·无镉的铜铟镓硒太阳能电池研究意义及进展 | 第15-20页 |
| ·无镉的铜铟镓硒太阳能电池原理 | 第20-40页 |
| ·CIGS材料的结构特性与物理性质 | 第20-26页 |
| ·ZnO材料的结构特性与物理性质 | 第26-29页 |
| ·无镉的铜铟镓硒太阳电池结构 | 第29-31页 |
| ·无镉的铜铟镓硒电池的异质结机理 | 第31-36页 |
| ·太阳电池的几个重要特性参数 | 第36-39页 |
| ·影响太阳电池转换效率的因素 | 第39-40页 |
| ·无镉的铜铟镓硒太阳电池研究现状及存在问题 | 第40-43页 |
| ·本论文所用的铜铟镓硒太阳能电池制备和表征主要设备 | 第43-52页 |
| ·原子层沉积系统 | 第43-46页 |
| ·磁控溅射沉积系统 | 第46-48页 |
| ·聚焦离子束系统 | 第48-49页 |
| ·光反射薄膜测厚系统 | 第49-51页 |
| ·半导体参数分析仪和探针台、模拟光源组成的太阳电池测试系统 | 第51-52页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第52-53页 |
| ·本论文的特色与创新点 | 第53-54页 |
| 第二章 钼电极的制备及性能研究 | 第54-60页 |
| ·衬底的选择、清洗 | 第54-55页 |
| ·钼电极简介 | 第55-56页 |
| ·钼电极薄膜的制备 | 第56-57页 |
| ·钼电极薄膜的结构与性能研究 | 第57-60页 |
| ·钼电极薄膜的厚度和方块电阻 | 第57页 |
| ·钼电极薄膜的表面形貌 | 第57-58页 |
| ·钼电极薄膜的XRD图谱 | 第58-60页 |
| 第三章 铜铟镓硒薄膜的制备及性能研究 | 第60-73页 |
| ·铜铟镓硒薄膜光吸收层的制备 | 第60-62页 |
| ·铜铟镓硒薄膜光吸收层的结构与性能研究 | 第62-72页 |
| ·铜铟镓硒薄膜的方块电阻 | 第63页 |
| ·叠层及硒化升温方式对薄膜表面形貌影响 | 第63-66页 |
| ·叠层及硒化升温方式对薄膜成分的影响 | 第66-67页 |
| ·CIGS薄膜的XPS图谱 | 第67-70页 |
| ·叠层及硒化升温方式对薄膜晶体结构的影响 | 第70-72页 |
| ·CIGS薄膜的光学性质 | 第72-73页 |
| 第四章 原子层沉积氧化锌缓冲层的制备及性能研究 | 第73-92页 |
| ·原子层沉积制备氧化锌最佳工艺条件的研究 | 第73-85页 |
| ·原子层沉积制备氧化锌生长机理 | 第73-78页 |
| ·薄膜厚度与锌源脉冲时间的关系 | 第78页 |
| ·薄膜表面粗糙度与锌源脉冲时间的关系 | 第78-82页 |
| ·沉积温度对薄膜质量的影响 | 第82-83页 |
| ·携带二乙基锌气体流量与平均生长的薄膜厚度关系 | 第83-84页 |
| ·不同锌源时间下原子沉积ZnO薄膜的光学特性 | 第84-85页 |
| ·原子层沉积制备氧化锌缓冲层 | 第85页 |
| ·原子层沉积氧化锌缓冲层的结构、性能研究 | 第85-92页 |
| ·氧化锌缓冲层的表面形貌和能谱 | 第85-87页 |
| ·氧化锌缓冲层的XPS图谱 | 第87-89页 |
| ·氧化锌缓冲层的XRD图谱 | 第89-90页 |
| ·氧化锌缓冲层的薄膜厚度 | 第90页 |
| ·氧化锌缓冲层的透射光谱 | 第90-91页 |
| ·ALD-ZnO薄膜的电子衍射花样 | 第91-92页 |
| 第五章 无镉的铜铟镓硒太阳能电池制备及性能研究 | 第92-108页 |
| ·磁控溅射法制备ZnO窗口层及结构、性能研究 | 第92-96页 |
| ·磁控溅射制备ZnO窗口层 | 第93-94页 |
| ·ZnO窗口层的表面形貌 | 第94-95页 |
| ·ZnO窗口层的能谱分析 | 第95页 |
| ·ZnO窗口层的晶体结构 | 第95-96页 |
| ·氧化锌窗口层薄膜的透射光谱 | 第96页 |
| ·磁控溅射法制备掺铝氧化锌(AZO)窗口层及结构、性能研究 | 第96-100页 |
| ·磁控溅射制备掺铝氧化锌(AZO)薄膜 | 第97-98页 |
| ·掺铝氧化锌(AZO)薄膜的表面形貌 | 第98页 |
| ·掺铝氧化锌(AZO)薄膜的能谱分析 | 第98-99页 |
| ·掺铝氧化锌(AZO)薄膜的透射光谱 | 第99-100页 |
| ·铜铟镓硒太阳能电池负电极薄膜的制备 | 第100-102页 |
| ·真空蒸镀法制备铝负电极 | 第100-101页 |
| ·磁控溅射法制备银负电极 | 第101-102页 |
| ·无镉的铜铟镓硒太阳能电池器件制备 | 第102-104页 |
| ·无镉的铜铟镓硒太阳能电池结构与性能研究 | 第104-108页 |
| ·电池的横截面透射电镜分析 | 第104-105页 |
| ·CIGS电池的光电转换性能 | 第105页 |
| ·结果分析 | 第105-108页 |
| 结论 | 第108-110页 |
| 参考文献 | 第110-120页 |
| 攻读学位期间发表的相关论文 | 第120-122页 |
| 致谢 | 第122页 |
