| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-31页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·TiO_2的结构特性 | 第13-17页 |
| ·TiO_2的晶体结构 | 第13-15页 |
| ·TiO_2的能带结构 | 第15-16页 |
| ·TiO_2晶体表面结构和缺陷 | 第16-17页 |
| ·TiO_2光催化应用 | 第17-19页 |
| ·半导体催化机理 | 第17-19页 |
| ·TiO_2光催化材料研究现状 | 第19页 |
| ·染料敏化太阳能电池 | 第19-25页 |
| ·染料敏化太阳能电池工作机理 | 第20-22页 |
| ·染料敏化太阳能电池光阳极研究现状 | 第22-25页 |
| ·三维TiO_2结构薄膜 | 第25-26页 |
| ·三维TiO_2结构薄膜的优点 | 第25页 |
| ·三维结构TiO_2薄膜的制备方法 | 第25-26页 |
| ·等离子体化学气相沉积 | 第26-29页 |
| ·等离子体化学气相沉积技术 | 第26-27页 |
| ·介质阻挡放电 | 第27-28页 |
| ·DBD-APCVD发展现状 | 第28-29页 |
| ·本文研究意义及内容 | 第29-31页 |
| ·研究意义 | 第29-30页 |
| ·研究内容 | 第30-31页 |
| 第二章 实验部分 | 第31-42页 |
| ·实验装置和试剂 | 第31-34页 |
| ·实验装置 | 第31-32页 |
| ·实验试剂 | 第32-33页 |
| ·实验流程 | 第33-34页 |
| ·常压非平衡等离子体诊断 | 第34-39页 |
| ·电流-电压曲线 | 第34-35页 |
| ·常压非平衡等离子体发射光谱诊断 | 第35-38页 |
| ·TC诊断等离子体气体温度 | 第38-39页 |
| ·TiO_2薄膜的表征 | 第39-41页 |
| ·TiO_2薄膜的表面形貌 | 第39-40页 |
| ·TiO_2薄膜品相和结晶度表征 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 等离子体诊断 | 第42-57页 |
| ·电流-电压曲线诊断 | 第43-48页 |
| ·功率对放电的影响 | 第43-44页 |
| ·氩气流量对放电的影响 | 第44-46页 |
| ·O_2流量对放电的影响 | 第46-47页 |
| ·TiCl_4流量对I-V曲线的影响 | 第47-48页 |
| ·OES监控等离子体变化 | 第48-52页 |
| ·光谱诊断装置及测量方法 | 第49页 |
| ·Ar/O_2/TiCl_4体系的全光谱分析 | 第49-50页 |
| ·放电功率对等离子体的影响 | 第50页 |
| ·Ar流量对等离子体的影响 | 第50-51页 |
| ·O_2流量对等离子体的影响 | 第51-52页 |
| ·TiCl_4流量对等离子体的影响 | 第52页 |
| ·等离子体温度诊断 | 第52-56页 |
| ·OES诊断Ar/O_2/TriCl_4体系T_e | 第53页 |
| ·OES诊断Ar/O_2/TiCl_4体系T_i | 第53-55页 |
| ·TC诊断等离子体气体温度 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 气相过程研究 | 第57-75页 |
| ·气相反应过程 | 第57-60页 |
| ·数值模拟 | 第57-58页 |
| ·基于OES的气相产物分析 | 第58-59页 |
| ·气相产物的生成 | 第59-60页 |
| ·气相产物的生长和输运 | 第60-63页 |
| ·颗粒充电理论 | 第60-61页 |
| ·气相产物的生长 | 第61-62页 |
| ·气相产物的输运 | 第62-63页 |
| ·气相产物的表征 | 第63-66页 |
| ·气相产物收集 | 第64页 |
| ·气相产物表征 | 第64-66页 |
| ·气相产物的成分的调控 | 第66-69页 |
| ·功率调控 | 第67-68页 |
| ·氧气调控 | 第68-69页 |
| ·气相产物的结晶的调控 | 第69-74页 |
| ·功率调控 | 第69-71页 |
| ·滞留时间调控 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第五章 沉积机理 | 第75-80页 |
| ·薄膜沉积简述 | 第75-76页 |
| ·吸附和凝结 | 第75-76页 |
| ·形核与生长 | 第76页 |
| ·薄膜沉积机理 | 第76-79页 |
| ·成核 | 第76-77页 |
| ·沉积机理 | 第77-78页 |
| ·机理验证 | 第78-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第六章 总结 | 第80-82页 |
| ·结论 | 第80-81页 |
| ·展望 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 硕士期间发表论文 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87页 |