光干涉法检测光学非球面面形研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| ·课题研究背景 | 第12-13页 |
| ·光学非球面的基本概念 | 第13-15页 |
| ·非球面及其表达式 | 第13页 |
| ·非球面的几何参数 | 第13-15页 |
| ·光学非球面的检测 | 第15-21页 |
| ·非球面测试方法比较 | 第15-17页 |
| ·几种主要测试方法和仪器 | 第17-21页 |
| ·论文的主要工作 | 第21页 |
| ·波面剪切干涉法 | 第21页 |
| ·波面相减干涉法 | 第21页 |
| ·波面补偿干涉法 | 第21页 |
| ·研究工作主要创新点和意义 | 第21-23页 |
| 第二章 波面拟合方法 | 第23-30页 |
| ·二维剪切干涉中波面的表示 | 第23-24页 |
| ·Zemike多项式 | 第24-25页 |
| ·波面的表示 | 第25-29页 |
| ·最小二乘法 | 第27-28页 |
| ·Gram-Schmidt正交化方法 | 第28-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 第三章 波面剪切法测量非球面面形 | 第30-59页 |
| ·测量原理 | 第30-35页 |
| ·相移干涉测试技术 | 第30-32页 |
| ·横向剪切干涉测试技术 | 第32-34页 |
| ·相移横向剪切干涉测试技术 | 第34-35页 |
| ·测试系统总体方案设计 | 第35-38页 |
| ·测试系统的构成 | 第35-36页 |
| ·光学系统 | 第36-37页 |
| ·结构设计 | 第37-38页 |
| ·图像采集电路 | 第38-39页 |
| ·CCD相机的选取 | 第38页 |
| ·图像采集卡 | 第38页 |
| ·压电陶瓷驱动电路 | 第38页 |
| ·标准镜头 | 第38-39页 |
| ·剪切干涉图的采集与处理软件设计 | 第39-40页 |
| ·一维相移剪切干涉图的采集与处理 | 第39页 |
| ·二维相移剪切干涉图的采集与处理 | 第39页 |
| ·程序功能 | 第39-40页 |
| ·程序界面及流程图 | 第40-42页 |
| ·测量数据处理 | 第42-45页 |
| ·测量误差分析及测试结果 | 第45-46页 |
| ·测量误差分析 | 第45页 |
| ·测试结果 | 第45-46页 |
| ·测量实例 | 第46-48页 |
| ·相移误差及其补偿算法 | 第48-58页 |
| ·移相器标定 | 第48-49页 |
| ·小波分析应用 | 第49-53页 |
| ·图象小波分解与相移量模拟 | 第53-54页 |
| ·相移误差分析及补偿算法 | 第54-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 第四章 波面相减法测量非球面面形 | 第59-75页 |
| ·相移干涉法测量原理 | 第59-61页 |
| ·ZYGO干涉仪简介 | 第61-62页 |
| ·理想非球波面的建立 | 第62-63页 |
| ·干涉法直接检测非球面实例 | 第63-65页 |
| ·表面绝对测量在非球面测量上的应用 | 第65-68页 |
| ·球面绝对检测原理 | 第65-68页 |
| ·抛物面检测结果 | 第68-69页 |
| ·用自准直法验证 | 第69-71页 |
| ·测量原理 | 第69-70页 |
| ·测量结果 | 第70-71页 |
| ·误差分析 | 第71-73页 |
| ·实验误差分析 | 第71-73页 |
| ·实验误差分析 | 第73页 |
| ·小结 | 第73-75页 |
| 第五章 波面补偿法测量非球面面形 | 第75-114页 |
| ·波带板 | 第75-81页 |
| ·波带板特性 | 第75页 |
| ·波带板的焦点、焦距 | 第75-78页 |
| ·波带板各焦点的光强 | 第78-79页 |
| ·波带板与透镜的区别 | 第79页 |
| ·波带板参数的计算 | 第79-80页 |
| ·波带板的制作 | 第80-81页 |
| ·波带板干涉法测量原理 | 第81-82页 |
| ·波带板共光路干涉系统 | 第82-85页 |
| ·针孔的选择 | 第83-84页 |
| ·波带板的安装 | 第84-85页 |
| ·实验设计 | 第85-87页 |
| ·实验主要器件参数 | 第85-86页 |
| ·空间滤波光路 | 第86页 |
| ·实验平台搭建 | 第86-87页 |
| ·干涉条纹采集 | 第87页 |
| ·基于坐标变换的波面重构算法 | 第87-99页 |
| ·原理 | 第88页 |
| ·计算机模拟待测波面 | 第88-90页 |
| ·坐标变换 | 第90-91页 |
| ·插值 | 第91-94页 |
| ·干涉条纹二值化 | 第94-96页 |
| ·干涉条纹细化 | 第96-97页 |
| ·细化后干涉条纹标定、采样 | 第97-98页 |
| ·干涉波面拟合及拟合误差 | 第98-99页 |
| ·干涉条纹处理 | 第99-109页 |
| ·预处理 | 第99-105页 |
| ·条纹几何中心的计算 | 第105页 |
| ·基于坐标变换的干涉条纹处理 | 第105-109页 |
| ·实测双曲面及其验证 | 第109-111页 |
| ·用波面补偿干涉法的测试结果 | 第109-110页 |
| ·用泰勒-霍普森轮廓仪验证测试结果 | 第110-111页 |
| ·测量误差分析 | 第111-113页 |
| ·波带板的误差和测量精度 | 第111-112页 |
| ·CCD分辨率对测量结果的影响 | 第112页 |
| ·空间滤波器针孔大小对测量结果的影响 | 第112-113页 |
| ·不同离焦量对测量结果的影响 | 第113页 |
| ·不同偏移量对测量结果的影响 | 第113页 |
| ·小结 | 第113-114页 |
| 第六章 结论 | 第114-116页 |
| 致谢 | 第116-118页 |
| 参考文献 | 第118-123页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第123-124页 |
