| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·本题的目的及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-16页 |
| ·MEMS 悬臂梁传感器的发展 | 第9-11页 |
| ·压阻桥式传感器检测研究现状 | 第11-13页 |
| ·微弱信号检测研究现状 | 第13-16页 |
| ·论文的框架及内容安排 | 第16-17页 |
| 第二章 MEMS 悬臂梁压阻桥式传感器的设计及制备 | 第17-26页 |
| ·MEMS 悬臂梁压阻桥式传感器的设计 | 第17-22页 |
| ·微悬臂梁的力敏特性 | 第17-18页 |
| ·微悬臂梁表面应力分析 | 第18-20页 |
| ·微悬臂梁的灵敏度 | 第20-21页 |
| ·微悬臂梁的几何和工艺参数设计 | 第21-22页 |
| ·微悬臂梁的工艺流程 | 第22-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 传感器读出电路设计方案 | 第26-34页 |
| ·检测仪设计要求 | 第26-27页 |
| ·技术指标 | 第26页 |
| ·指标分析 | 第26-27页 |
| ·设计方案 | 第27-28页 |
| ·锁定放大技术的原理 | 第28-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 检测仪硬件电路设计 | 第34-55页 |
| ·电桥调零模块 | 第34-39页 |
| ·惠斯通电桥分析 | 第34-37页 |
| ·电桥调零 | 第37-39页 |
| ·两级放大模块 | 第39-41页 |
| ·锁定放大模块 | 第41-50页 |
| ·信号的调制 | 第41-42页 |
| ·信号通道的设计 | 第42-44页 |
| ·相关器设计 | 第44-45页 |
| ·参考通道的设计 | 第45-47页 |
| ·低通滤波电路的设计 | 第47-50页 |
| ·增益调节模块 | 第50-51页 |
| ·液晶显示模块 | 第51页 |
| ·电源模块 | 第51-52页 |
| ·控制器模块 | 第52-53页 |
| ·串口通信模块 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 检测仪软件的设计 | 第55-69页 |
| ·下位机软件设计 | 第55-67页 |
| ·系统的软件开发环境 | 第55-56页 |
| ·低功耗设计 | 第56-57页 |
| ·主程序设计流程 | 第57-59页 |
| ·ADC 模块设计 | 第59-60页 |
| ·软件滤波、增益控制及串口通信协议的设计 | 第60-64页 |
| ·D/A 模块的设计 | 第64-65页 |
| ·电桥调零程序的设计 | 第65-66页 |
| ·LCD 程序的设计 | 第66-67页 |
| ·上位机软件设计 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 电路调试及系统性能测试 | 第69-81页 |
| ·电路的调试 | 第69-75页 |
| ·SPI 总线调试 | 第69-71页 |
| ·I2C 总线调试 | 第71-73页 |
| ·串口调试 | 第73-75页 |
| ·系统性能测试 | 第75-80页 |
| ·锁相放大电路测试 | 第75-78页 |
| ·实验结果分析 | 第78-79页 |
| ·检测仪参数计算 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第七章 结论 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 攻读硕士期间所取得的研究成果 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86页 |