| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第9页 |
| ·振动式微能源的类型及特点 | 第9-11页 |
| ·振动式微能源的国内外研究现状 | 第11-15页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第15-16页 |
| 第二章 复合振动能量拾取 MEMS 器件的工作原理 | 第16-24页 |
| ·压电式 MEMS 器件的工作原理 | 第16-20页 |
| ·压电转换基本理论 | 第16-17页 |
| ·压电发电分析模型 | 第17-20页 |
| ·磁电式 MEMS 器件的工作原理 | 第20-22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 第三章 复合振动能量拾取 MEMS 器件结构的设计与仿真 | 第24-39页 |
| ·振动能量拾取 MEMS 器件整体结构的设计 | 第24-28页 |
| ·磁电式能量拾取方案设计 | 第28-32页 |
| ·永久磁铁材料的选择 | 第28-29页 |
| ·感应线圈的设计 | 第29-32页 |
| ·MEMS 器件结构的有限元仿真分析 | 第32-37页 |
| ·静力学仿真分析 | 第33-34页 |
| ·模态仿真分析 | 第34-36页 |
| ·谐响应仿真分析 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 复合振动能量拾取 MEMS 器件制造 | 第39-58页 |
| ·振动能量拾取 MEMS 器件制造工艺设计 | 第39-43页 |
| ·MEMS 器件结构加工流程设计 | 第39-40页 |
| ·MEMS 器件结构的版图设计 | 第40-43页 |
| ·PZT 压电薄膜的制备及其性能的表征 | 第43-49页 |
| ·振动能量拾取 MEMS 器件加工工艺研究 | 第49-57页 |
| ·PZT 薄膜刻蚀工艺 | 第49-52页 |
| ·下电极 Pt/Ti 层刻蚀工艺 | 第52-53页 |
| ·上电极和线圈加工工艺 | 第53-54页 |
| ·硅基底刻蚀工艺 | 第54-55页 |
| ·键合工艺 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 振动能量拾取 MEMS 器件性能的初步测试 | 第58-63页 |
| ·振动能量拾取 MEMS 器件性能测试系统 | 第58页 |
| ·振动能量拾取 MEMS 器件电压输出特性测试 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第六章 结论与展望 | 第63-66页 |
| ·论文的主要研究内容及结论 | 第63-64页 |
| ·论文的主要创新点及贡献 | 第64页 |
| ·未来工作展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 攻读硕士学位期间所取得的研究成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
