基于MEMS技术的宽频振动能量采集器的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·微能源研究现状 | 第13-16页 |
| ·微型电池 | 第13-14页 |
| ·能量采集 | 第14-16页 |
| ·电磁辐射 | 第14-15页 |
| ·热能 | 第15页 |
| ·振动机械能 | 第15-16页 |
| ·振动能量采集器研究进展 | 第16-26页 |
| ·能量采集方式 | 第17-19页 |
| ·典型的电磁式振动能量采集器 | 第19-22页 |
| ·频率与带宽优化的振动能量采集器 | 第22-26页 |
| ·本课题的研究意义和研究内容 | 第26-28页 |
| ·研究意义 | 第26-27页 |
| ·研究内容 | 第27-28页 |
| 第二章 宽频能量采集的相关理论与设计仿真 | 第28-48页 |
| ·电磁式振动能量采集器的建模与分析 | 第28-36页 |
| ·能量采集器系统物理模型的建立 | 第29-31页 |
| ·拾振系统阻尼受迫线性振动的频率响应 | 第31-34页 |
| ·能量转换系统的物理模型及输出电功率 | 第34-36页 |
| ·能量采集器拾振系统的非线性分析 | 第36-47页 |
| ·非线性受迫振动的宽频特性 | 第36-40页 |
| ·非线性弹性力的静态分析 | 第40-47页 |
| ·几何非线性因素的影响 | 第42-43页 |
| ·平面几何图形对非线性程度的影响 | 第43-45页 |
| ·弹簧臂宽厚比对非线性效应的影响 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 能量采集器的MEMS 制造工艺 | 第48-64页 |
| ·正胶双层平面线圈的制备工艺 | 第48-54页 |
| ·制备工艺与操作步骤 | 第48-53页 |
| ·线圈样品的实物照片 | 第53-54页 |
| ·胶上打底工艺制备镍平面弹簧 | 第54-56页 |
| ·制备工艺与操作步骤 | 第54-56页 |
| ·弹簧样品的实物照片 | 第56页 |
| ·SU-8 胶垫片的制备工艺 | 第56-58页 |
| ·能量采集器的组装 | 第58-59页 |
| ·集成制造的单元工艺试验 | 第59-62页 |
| ·集成工艺与操作步骤 | 第60-61页 |
| ·工艺难点及其解决方法 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 能量采集器的非线性测试与分析 | 第64-77页 |
| ·测试系统 | 第64-66页 |
| ·弹簧静力学测试系统 | 第64-65页 |
| ·动态测试系统 | 第65-66页 |
| ·单个弹簧样品的性能测试 | 第66-70页 |
| ·弹簧弹性系数的测试 | 第66-68页 |
| ·加速度对振幅和频率的影响 | 第68-70页 |
| ·四种弹簧与样机的性能测试 | 第70-75页 |
| ·样品的静力学非线性比较 | 第71-72页 |
| ·样机的动态性能测试 | 第72-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 第五章 总结与展望 | 第77-80页 |
| ·主要研究内容和结论 | 第77-79页 |
| ·展望与下一步研究设想 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第84页 |
