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III族氮化物半导体中极化场的调控

摘要第1-6页
Abstract第6-13页
第一章 绪论第13-25页
   ·Ⅲ族氮化物半导体的自发极化和压电极化效应第15-18页
   ·Ⅲ族氮化物结构材料中极化效应的研究方法第18-19页
   ·论文架构第19-21页
 参考文献第21-25页
第二章 极化场调制的理论设计第25-57页
   ·理论计算方法第25-32页
     ·Born-Oppenheimer近似第26页
     ·Hartree-Fork近似第26页
     ·密度泛函理论第26-29页
     ·平面波和混合基展开的第一性原理赝势法第29-32页
   ·定位共掺对局域极化场的调制第32-39页
     ·定位共掺结构模型的构建第33-34页
     ·局域极化场形成机理分析第34-35页
     ·局域极化场对杂质溶解度的影响第35-36页
     ·局域极化场对受主激活能的影响第36-39页
   ·超晶格极化场调制的能带工程第39-48页
     ·超晶格模型的构建第40-41页
     ·Mg调制掺杂对AlGaN/GaN超晶格能带结构的影响第41-46页
     ·Mg-和Si-δ共掺超晶格极化场调制的能带工程第46-48页
   ·量子阱极化场调制的能带工程第48-50页
   ·小结第50-52页
 参考文献第52-57页
第三章 Ⅲ族氮化物半导体的MOVPE生长和测试方法第57-79页
   ·Ⅲ族氮化物半导体的MOVPE生长技术第57-68页
     ·MOVPE技术原理第57-59页
     ·MOVPE生长系统第59-68页
   ·Ⅲ族氮化物半导体的测试方法第68-77页
     ·晶体结构特性的测试第68-73页
     ·光学特性的测试第73-75页
     ·电学特性的测试第75-77页
 参考文献第77-79页
第四章 GaN极性面生长及其质量控制第79-89页
   ·衬底处理与GaN生长极性的关系第79-80页
   ·外延生长工艺对Ga极性面GaN晶体质量的影响第80-85页
   ·小结第85-86页
 参考文献第86-89页
第五章 共掺超晶格极化场调制的p型导电增强效应第89-99页
   ·Mg-和Si-δ共掺p型超晶格的外延生长及性质研究第89-95页
     ·超晶格结构的外延生长第89-92页
     ·超晶格的电学性质第92-93页
     ·超晶格的光学性质第93-95页
   ·Mg-和Si-δ共掺p型超晶格在深紫外LED中的应用第95-96页
   ·小结第96-97页
 参考文献第97-99页
第六章 极化场对InGaN/GaN量子阱量子能级的调制第99-115页
   ·InGaN/GaN量子阱的发光机制第99-107页
     ·InGaN/GaN多量子阱的外延生长第100-102页
     ·InGaN/GaN多量子阱量子能级的跃迁发光第102-107页
   ·InGaN/GaN多量子阱中Mg掺杂对量子能级的调控第107-110页
     ·Mg掺杂InGaN/GaN多量子阱的外延生长第108页
     ·量子能级的调控第108-110页
   ·小结第110-112页
 参考文献第112-115页
第七章 总结与展望第115-117页
附录 博士期间发表的论文第117-118页
致谢第118页

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