压电式加速度传感器的研制
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第1章 绪 论 | 第8-17页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| ·加速度传感器研究现状 | 第9-15页 |
| ·加速度传感器 | 第9-15页 |
| ·压电式加速度传感器 | 第15页 |
| ·文章结构 | 第15-16页 |
| ·文章小结 | 第16-17页 |
| 第2章 压电加速度传感器概述 | 第17-24页 |
| ·压电加速度传感器工作原理 | 第17-20页 |
| ·压电式加速度计的灵敏度 | 第20-21页 |
| ·压电加速度传感器的前置放大器 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 PZT 的结构原理与制造工艺 | 第24-43页 |
| ·压电效应 | 第24-34页 |
| ·PZT 的压电效应 | 第24-29页 |
| ·石英晶体的压电效应 | 第29-34页 |
| ·PZT 结构原理与制造工艺 | 第34-42页 |
| ·PZT 结构与压电原理 | 第34页 |
| ·PZT 压电效应 | 第34-36页 |
| ·PZT 制造工艺研究进展 | 第36-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 PZT 压电加速度传感器的设计与制造 | 第43-51页 |
| ·传感器设计与制作 | 第43-45页 |
| ·压电片及引线的制作 | 第43页 |
| ·基座的制作 | 第43页 |
| ·质量块的制作 | 第43-44页 |
| ·组装 | 第44-45页 |
| ·放大电路的设计与制作 | 第45-50页 |
| ·运算放大器简介 | 第45-46页 |
| ·741 运算放大器使用说明 | 第46-48页 |
| ·本文所采用741 放大器的设计 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 传感器静态特性分析 | 第51-66页 |
| ·线性度 | 第51-61页 |
| ·理论线性度 | 第54-56页 |
| ·独立线性度 | 第56页 |
| ·端基线性度 | 第56-57页 |
| ·平均选点线性度 | 第57-58页 |
| ·最小二乘法线性度 | 第58-61页 |
| ·迟滞 | 第61-62页 |
| ·重复性 | 第62-64页 |
| ·灵敏度 | 第64页 |
| ·传感器的准确度 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第6章 实验结果 | 第66-69页 |
| ·实验数据 | 第66页 |
| ·实验结果 | 第66-68页 |
| ·迟滞特性 | 第66-67页 |
| ·重复性 | 第67页 |
| ·线性度 | 第67-68页 |
| ·灵敏度 | 第68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第7章 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
