水银微电容式加速度计的特性及测试研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·微加速度传感器综述 | 第9-17页 |
| ·国外研究现状 | 第10-16页 |
| ·国内研究现状 | 第16-17页 |
| ·课题的研究背景、目的和意义 | 第17-18页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 水银微电容加速度计的结构及特性研究 | 第19-30页 |
| ·微加速度传感器的力学模型 | 第19-20页 |
| ·微机械电容式加速度计的工作原理 | 第20页 |
| ·电容的改变方式与工作原理 | 第20-23页 |
| ·变极距型电容的基本原理 | 第21-22页 |
| ·变面积型电容的基本原理 | 第22-23页 |
| ·微电容水银加速度传感器的工作原理 | 第23-24页 |
| ·水银微电容式加速度计的结构设计及特性分析 | 第24-29页 |
| ·水银微电容式加速度计的结构设计 | 第24-26页 |
| ·水银微电容式加速度计的特性分析 | 第26-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 实验系统设计及微电容测试芯片MS3110 | 第30-41页 |
| ·实验系统设计 | 第30-31页 |
| ·MS3110 芯片 | 第31-35页 |
| ·MS3110 的引脚配置与功能特点 | 第32-33页 |
| ·MS3110 的测量原理 | 第33-34页 |
| ·MS3110 可行性分析 | 第34-35页 |
| ·MS3110 的静态和动态特性分析和研究 | 第35-39页 |
| ·MS3110 的静态特性 | 第35-37页 |
| ·MS3110 的动态特性 | 第37-39页 |
| ·MS3110 的校准 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 水银微电容加速度计的测试研究 | 第41-55页 |
| ·水银微电容加速度计的检测电路及数据采集 | 第41-43页 |
| ·水银微电容加速度计的检测电路 | 第41-42页 |
| ·水银微电容加速度计的数据采集 | 第42-43页 |
| ·水银微电容加速度计的精度测试实验与分析 | 第43-45页 |
| ·模拟加速度环境下水银微电容加速度计的静动态测试 | 第45-54页 |
| ·水银微电容加速度计的静态性能测试 | 第45-47页 |
| ·水银微电容加速度计的动态性能测试 | 第47-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 卡尔曼滤波在水银微电容式加速度计中的应用 | 第55-67页 |
| ·引言 | 第55-56页 |
| ·实验系统中动态系统部分的模型 | 第56-57页 |
| ·水银微电容式加速度计状态空间模型的建立 | 第57-61页 |
| ·随机离散系统的状态空间描述 | 第58-59页 |
| ·建立加速度计的状态空间模型 | 第59-61页 |
| ·动态噪声和观测噪声的统计特性及系统初态的选择 | 第61-63页 |
| ·动态噪声和观测噪声的统计特性 | 第61-63页 |
| ·初始状态的选择 | 第63页 |
| ·标准卡尔曼滤波算法及其应用 | 第63-66页 |
| ·线性最小方差估计 | 第63-64页 |
| ·离散系统的卡尔曼滤波算法 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 结论与展望 | 第67-69页 |
| 附录一：微小测量电路原理图 | 第69-70页 |
| 附录二：标准卡尔曼滤波算法流程图 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及参与的科研工作 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
