| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 外延生长表层温度在线控制的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 精确测温仪的研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第9-10页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 本文研究的内容和论文安排 | 第11-13页 |
| 1.3.1 研究内容 | 第11-12页 |
| 1.3.2 论文安排 | 第12-13页 |
| 第二章 外延生长表层温度测量方案设计 | 第13-21页 |
| 2.1 测温系统设计要求及工作环境概述 | 第13-14页 |
| 2.2 辐射测温原理 | 第14-18页 |
| 2.2.1 全辐射测温 | 第15-16页 |
| 2.2.2 亮度测温 | 第16-17页 |
| 2.2.3 双波长测温 | 第17页 |
| 2.2.4 多波段测温 | 第17-18页 |
| 2.2.5 最大波长测温 | 第18页 |
| 2.3 温度测量实施方案 | 第18-20页 |
| 2.3.1 热辐射测量方法 | 第18-19页 |
| 2.3.2 反射率测量方法 | 第19-20页 |
| 2.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 外延生长表层温度测量系统设计 | 第21-42页 |
| 3.1 系统光路及机械结构设计 | 第21-27页 |
| 3.1.1 光路仿真 | 第21-24页 |
| 3.1.2 机械结构设计 | 第24-27页 |
| 3.2 系统电路设计 | 第27-32页 |
| 3.2.1 LED控制电路设计 | 第29-30页 |
| 3.2.2 光电倍增管增益控制电路设计 | 第30-32页 |
| 3.3 辅助测试系统设计 | 第32-34页 |
| 3.3.1 热辐射与反射光接收光路辅助调试模块设计 | 第33页 |
| 3.3.2 探头与目标表面准直辅助调试模块设计 | 第33页 |
| 3.3.3 探头接收目标热辐射范围验证模块设计 | 第33-34页 |
| 3.4 硬件系统调试 | 第34-36页 |
| 3.4.1 LED控制电路调试 | 第35页 |
| 3.4.2 光电倍增管增益控制电路调试 | 第35-36页 |
| 3.5 光学系统调试 | 第36-39页 |
| 3.5.1 光源模块调试 | 第37页 |
| 3.5.2 热辐射与反射率测量复用光路模块调试 | 第37页 |
| 3.5.3 接收模块调试 | 第37-38页 |
| 3.5.4 探头准直调试 | 第38-39页 |
| 3.6 软件调试 | 第39-41页 |
| 3.6.1 软件采样时序分析 | 第39-40页 |
| 3.6.2 石墨盘外延片分片 | 第40-41页 |
| 3.7 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 外延生长表层温度测量系统参数标定 | 第42-53页 |
| 4.1 热辐射强度测量 | 第42-45页 |
| 4.1.1 热辐射强度一温度对应关系校准方法 | 第42-44页 |
| 4.1.2 热辐射强度一温度对应关系校准结果分析 | 第44-45页 |
| 4.2 温度测量仪反射率测量 | 第45-48页 |
| 4.2.1 外延表面反射率校准方法 | 第45-46页 |
| 4.2.2 外延表面反射率校准结果分析 | 第46-47页 |
| 4.2.3 外延表面反射率变化对温度测量的影响 | 第47-48页 |
| 4.3 温度测量仪热辐射检测范围 | 第48-49页 |
| 4.4 探头角度灵敏度测试 | 第49-50页 |
| 4.5 测温系统温度测量性能分析 | 第50-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 结论 | 第53-55页 |
| 5.1 结论 | 第53-54页 |
| 5.2 展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 个人简历、在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第59页 |