多孔硅薄膜湿度传感器的研制
| 第一章 绪论 | 第1-17页 |
| ·课题的设立和意义 | 第7-11页 |
| ·研究多孔硅薄膜传感器的重要性 | 第7-8页 |
| ·课题的设立 | 第8-10页 |
| ·课题的意义 | 第10-11页 |
| ·国内外发展现状 | 第11-15页 |
| ·多孔硅薄膜传感技术的发展现状 | 第11-12页 |
| ·湿度传感器的发展现状 | 第12-15页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 多孔硅薄膜的研究进展以及制备技术 | 第17-27页 |
| ·多孔硅研究的历史、背景及应用前景 | 第18-19页 |
| ·多孔硅研究的历史及背景 | 第18页 |
| ·多孔硅的应用前景 | 第18-19页 |
| ·多孔硅制备技术 | 第19-27页 |
| ·常用的多孔硅制备技术 | 第19-21页 |
| ·多孔硅的表面钝化技术 | 第21-22页 |
| ·多孔硅的形成机制 | 第22-25页 |
| ·多孔硅的形貌结构 | 第25页 |
| ·水热腐蚀金属钝化多孔硅概念的提出 | 第25-27页 |
| 第三章 多孔硅薄膜湿度传感器实验研究 | 第27-57页 |
| ·背景知识 | 第27-34页 |
| ·湿度及其表示方法 | 第27-28页 |
| ·传感器的定义和组成 | 第28-29页 |
| ·湿度传感器 | 第29-30页 |
| ·湿敏元件的特性参数 | 第30-32页 |
| ·湿度传感器的分类 | 第32-34页 |
| ·实验设计 | 第34-37页 |
| ·敏感元件的结构设计 | 第34-35页 |
| ·实验装置的设计 | 第35-37页 |
| ·实验过程 | 第37-41页 |
| ·准备工作 | 第37页 |
| ·多孔硅的制备 | 第37-39页 |
| ·多孔硅形貌与厚度的表征 | 第39-40页 |
| ·多孔硅湿敏元件感湿特性的测试 | 第40-41页 |
| ·实验的结果与分析 | 第41-49页 |
| ·多孔硅形貌与厚度表征的结果与分析 | 第42页 |
| ·多孔硅湿敏元件感湿特性测试的结果与分析 | 第42-49页 |
| ·多孔硅／氧化物复合材料感湿特性的初步研究 | 第49-55页 |
| ·多孔硅／Fe_3O_4复合材料的制备 | 第50-52页 |
| ·多孔硅／Fe_3O_4复合材料形貌的表征 | 第52页 |
| ·多孔硅／Fe_3O_4湿敏元件感湿性能的测试 | 第52-55页 |
| ·小结 | 第55-57页 |
| 第四章 多孔硅薄膜湿度传感器感湿机理研究 | 第57-65页 |
| ·感湿机理的研究 | 第57页 |
| ·感湿模型的建立 | 第57-62页 |
| ·湿敏电容模型 | 第58-61页 |
| ·湿敏元件电容感湿特性的理论分析 | 第61-62页 |
| ·湿敏元件等效电路的提出 | 第62-65页 |
| 第五章 总结及展望 | 第65-69页 |
| ·总结 | 第65-67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 附录 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
