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高介电常数CaCu3Ti4O12薄膜制备及其性能研究

第一章 引言第1-26页
   ·电介质基本概念及介电材料第12-14页
   ·高介电常数材料的研究背景及现状第14-22页
   ·本文的研究意义、目标及内容第22-23页
   ·本章小结第23-24页
 参考文献第24-26页
第二章 薄膜的制备、结构表征与电学性质检测第26-34页
   ·薄膜制备第26-30页
   ·薄膜的结构表征第30-31页
   ·薄膜的电学性质检测第31-32页
   ·本章小结第32-33页
 参考文献第33-34页
第三章 脉冲激光沉积法制备CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜及其性能的分析第34-45页
   ·引言第34页
   ·CCTO陶瓷靶材的制备第34-36页
   ·沉积气压对薄膜结构的影响第36-38页
   ·基片温度对薄膜结构的影响第38-40页
   ·薄膜厚度对薄膜结构的影响第40-41页
   ·薄膜厚度对薄膜介电性能的影响第41-43页
   ·本章小结第43-44页
 参考文献第44-45页
第四章 LaNiO_3缓冲层对CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜结构及其介电性能的影响第45-56页
   ·引言第45页
   ·LNO薄膜的制备第45-46页
   ·LNO缓冲层对CCTO薄膜结构的影响第46-49页
   ·LNO缓冲层对CCTO薄膜介电性质的影响第49-50页
   ·多晶CCTO薄膜的阻抗谱研究第50-53页
   ·本章小结第53-54页
 参考文献第54-56页
第五章 退火后处理对CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的影响第56-64页
   ·引言第56页
   ·实验方法第56页
   ·退火前后CCTO薄膜结构的比较第56-58页
   ·退火前后CCTO薄膜介电性能的比较第58-60页
   ·退火后处理CCTO薄膜阻抗谱的研究第60-62页
   ·本章小结第62-63页
 参考文献第63-64页
第六章 总结与研究展望第64-66页
攻读硕士学位期间公开发表的论文第66-67页
致谢第67页

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