| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSRTACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-11页 |
| ·引言 | 第6页 |
| ·模型参数提取的意义 | 第6-8页 |
| ·国内外模型参数提取技术现状 | 第8-9页 |
| ·研究内容及安排 | 第9-11页 |
| 第二章 MOS模型介绍 | 第11-24页 |
| ·MOS器件模型分类与发展 | 第11-13页 |
| ·BSIM3模型 | 第13-23页 |
| ·小结 | 第23-24页 |
| 第三章 模型参数提取 | 第24-52页 |
| ·基本原理 | 第24-26页 |
| ·算法简介 | 第26-29页 |
| ·数据测量 | 第29-36页 |
| ·器件的尺寸确定 | 第29-31页 |
| ·器件Ⅳ特性曲线的测量 | 第31-36页 |
| ·提取参数 | 第36-48页 |
| ·单器件模型提取 | 第37-41页 |
| ·model-binning参数提取 | 第41-44页 |
| ·多器件模型提取 | 第44-48页 |
| ·器件交流参数的提取 | 第48-52页 |
| ·寄生结电容参数的提取 | 第49-52页 |
| 第四章 模型的验证 | 第52-57页 |
| ·用spectre软件仿真 | 第52-53页 |
| ·误差报告 | 第53-57页 |
| 第五章 总结与展望 | 第57-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |