| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-14页 |
| 本章参考文献 | 第14-17页 |
| 第二章 紫外光预电离的TEA脉冲CO_2激光器放电概述 | 第17-37页 |
| 2．1 紫外光预电离机理 | 第17-25页 |
| 2．1．1 紫外发射光谱 | 第17-19页 |
| 2．1．2 紫外光预电离电子的产生 | 第19-22页 |
| 2．1．3 气体体积光电离 | 第22-25页 |
| 2．2 各种紫外光预电离技术 | 第25-29页 |
| 2．2．1 紫外光源 | 第25-26页 |
| 2．2．2 火花针、电晕及半导体预电离技术 | 第26-29页 |
| 2．3 TEA脉冲CO_2激光器放电概述 | 第29-37页 |
| 2．3．1 低气压的Townsend击穿理论 | 第29-31页 |
| 2．3．2 高气压下的击穿理论 | 第31-33页 |
| 2．3．3 气体放电的均匀性和稳定性 | 第33-34页 |
| 本章参考文献 | 第34-37页 |
| 第三章 印刷电路板预电离技术 | 第37-56页 |
| 3．1 印刷电路板预电离结构 | 第37-38页 |
| 3．2 紫外光预电离结构的电路分析 | 第38-43页 |
| 3．3 紫外光预电离方式均匀性分析 | 第43-51页 |
| 3．4 考虑紫外光火花针预电离均匀性的均匀场电极的设计 | 第51-56页 |
| 本章参考文献 | 第53-56页 |
| 第四章 印刷电路板预电离小型TEA CO_2激光器 | 第56-72页 |
| 4．1 印刷电路板预电离小型TEA CO_2激光器结构 | 第56-57页 |
| 4．2 印刷电路板预电离小型TEA CO_2激光器放电电路结构 | 第57-58页 |
| 4．3 印刷电路板预电离小型TEA CO_2激光器实验参数 | 第58-59页 |
| 4．4 印刷电路板预电离小型TEA CO_2激光器实验结果与分析 | 第59-70页 |
| 4．4．1 不同储能电容时激光器输出能量和注入能量的关系 | 第59-62页 |
| 4．4．2 两种照射模式时激光器输出能量和注入能量的关系 | 第62-64页 |
| 4．4．3 谐振腔结构对激光器输出能量的影响 | 第64-65页 |
| 4．4．4 输出镜对激光器输出能量的影响 | 第65-66页 |
| 4．4．5 激光器输出能量与混合气总气压的关系 | 第66-67页 |
| 4．4．6 预电离方式的比较 | 第67-70页 |
| 4．5 印刷电路板预电离小型TEA CO_2激光器实验结论 | 第70-72页 |
| 第五章 印刷电路板预电离TEA CO_2激光器能力的扩大 | 第72-101页 |
| 5．1 印刷电路板预电离中型TEA CO_2激光器结构 | 第72-73页 |
| 5．2 印刷电路板预电离中型TEA CO_2激光器放电电路结构 | 第73-74页 |
| 5．3 印刷电路板预电离中型TEA CO_2激光器实验参数 | 第74-75页 |
| 5．4 印刷电路板预电离中型TEA CO_2激光器实验结果与分析 | 第75-99页 |
| 5．4．1 腔长为1300mm的激光器实验结果 | 第75-91页 |
| （1） 激光混合气压对激光器输出能量的影响 | 第76-77页 |
| （2） 激光混合气体配比对激光器输出能量的影响 | 第77-78页 |
| （3） 各种混合气体配比和气压的激光脉冲波形 | 第78-83页 |
| （4） 各种混合气体配比和气压的放电电压和电流波形 | 第83-91页 |
| 5．4．2 腔长为2600mm的激光器实验结果 | 第91-94页 |
| （1） 激光混合气压对激光器输出能量的影响 | 第91-93页 |
| （2） 激光混合气体配比对激光器输出能量的影响 | 第93-94页 |
| 5．4．3 激光器效率值与E/N的分析 | 第94-97页 |
| （1） 1300mm腔长时激光器电光转换效率与E/N值的关系 | 第95-96页 |
| （2） 2600mm腔长时激光器电光转换效率与E/N值的关系 | 第96-97页 |
| 5．4．4 激光器效率与混合气体配比的分析 | 第97-99页 |
| （1） 1300mm腔长时激光器效率与混合气体配比的关系 | 第97-98页 |
| （2） 2600mm腔长时激光器效率与混合气体配比的关系 | 第98-99页 |
| 5．5 印刷电路板预电离中型TEA CO_2激光器结论 | 第99-101页 |
| 第六章 脉冲形成网络放电技术 | 第101-112页 |
| 6．1 单电容激光放电技术 | 第101-102页 |
| 6．2 脉冲形成网络（PFN）激光放电技术 | 第102-109页 |
| 6．2．1 对称的脉冲形成网络激光放电 | 第105-107页 |
| 6．2．2 非对称的脉冲形成网络激光放电 | 第107-109页 |
| 6．3 脉冲形成网络（PFN）激光放电技术问题 | 第109-112页 |
| 本章参考文献 | 第110-112页 |
| 第七章 脉冲形成网络放电TE CO_2激光器研究 | 第112-138页 |
| 7．1 脉冲形成网络放电TECO_2激光器结构 | 第112-113页 |
| 7．2 脉冲形成网络放电TECO_2激光器放电电路结构 | 第113-116页 |
| 7．2．1 对称的脉冲形成网络放电电路 | 第113-116页 |
| 7．2．2 非对称的脉冲形成网络放电电路 | 第116页 |
| 7．3 脉冲形成网络放电TECO_2激光器的实验参数 | 第116-117页 |
| 7．4 脉冲形成网络放电TECO_2激光器的结果与分析 | 第117-135页 |
| 7．4．1 非对称的脉冲形成网络激光放电实验结果 | 第117-127页 |
| 7．4．2 对称的脉冲形成网络激光放电实验结果 | 第127-134页 |
| 7．4．3 两种脉冲形成网络的激光注入与输出结果 | 第134-135页 |
| 7．5 脉冲形成网络放电TE CO_2激光器实验的讨论 | 第135-138页 |
| 第八章 结论 | 第138-141页 |
| 在学期间与导师合作发表的学术文章 | 第141-142页 |
| 致 谢 | 第142页 |
